Silikonkarbidbeläggning

VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.

Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.

På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.

Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.

Reaktordelar vi kan göra:

Kiselkarbidbeläggning flera unika fördelar:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Egendom	Typiskt värde
Kristallstruktur	FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
SiC-beläggning Densitet	3,21 g/cm³
SiC-beläggningHårdhet	2500 Vickers hårdhet（500g belastning）
kornstorlek	2~10μm
Kemisk renhet	99,99995 %
Värmekapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Böjningsstyrka	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga	300W·m^-1·K^-1
Termisk expansion (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FILM KRISTALSTRUKTUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Kiselkarbidbelagd Epi-susceptor SiC Coating Wafer Carrier SiC-belagd satellitkåpa för MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC beläggning Värmeelement Aixtron Satellite wafer bärare SiC Coating Epi-mottagare SiC beläggning halvmåne grafit delar

View as

SIC -beläggningsskiva

Vetek Semiconductor är topptillverkare av CVD SIC -beläggningar i Kina, erbjuder SIC -beläggningsskiva i AIXTRON MOCVD -reaktorer. Dessa SIC -beläggningsuppsättningar är utformade med hjälp av grafit med hög renhet och har en CVD -SIC -beläggning med föroreningar under 5 ppm. Din förfrågan är välkommen.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

SIC -beläggningscentrum

Vetek Semiconductor är en tillverkare som är ansedd för CVD SIC-beläggning i Kina, ger dig det banbrytande SIC-beläggningssamlarcentret i AIXTRON G5 MOCVD-system. Detta SIC -beläggningssamlare är noggrant utformade med grafit med hög renhet och har en avancerad CVD -SIC -beläggning, vilket säkerställer hög temperaturstabilitet, korrosionsmotstånd, hög renhet. Ser fram emot att samarbeta med dig!

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Sic beläggningskollektor

Välkommen till Vetek Semiconductor, din pålitliga tillverkare av CVD SIC -beläggningar. Vi är stolta över att erbjuda AIXTRON SIC-beläggningssamlare, som är sakkunnigt konstruerade med hjälp av grafit med hög renhet och har en modernaste CVD-SIC-beläggning med föroreningar under 5 ppm. Tveka inte att nå ut till oss med frågor eller förfrågningar

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Sic beläggningssamlare botten

Med vår expertis inom CVD SIC -beläggningstillverkning presenterar Vetek Semiconductor stolt Aixtron Sic Coating Collector Bottom, Center and Top. Denna SIC -beläggningssamlare botten är konstruerad med hjälp av grafit med hög renhet och är belagda med CVD SiC, vilket säkerställer förorening under 5 ppm. Känn dig fri att nå ut till oss för ytterligare information och förfrågningar.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Sic beläggning av täckningssegment inre

På Vetek Semiconductor är vi specialiserade på forskning, utveckling och industrialisering av CVD SIC -beläggning och CVD TAC -beläggning. En exemplifierande produkt är SIC -beläggningssegmenten inre, som genomgår omfattande bearbetning för att uppnå en mycket exakt och tätt belagd CVD -SIC -yta. Denna beläggning visar enastående motstånd mot höga temperaturer och ger robust korrosionsskydd. Kontakta oss gärna för eventuella förfrågningar.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

SIC -beläggningssegment

VTEch Semiconductor är engagerad i utveckling och kommersialisering av CVD SIC -belagda delar för AIXTRON -reaktorer. Som ett exempel har våra SIC -beläggningsskyddssegment noggrant bearbetats för att producera en tät CVD -SIC -beläggning med utmärkt korrosionsbeständighet, kemisk stabilitet, välkomna att diskutera applikationsscenarier med oss.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Som professionell Silikonkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att tillgodose de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerad och hållbar Silikonkarbidbeläggning tillverkad i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-post
anny@veteksemi.com
Adress
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang -provinsen, Kina

Webbmeny

Produktsökning

Språk

Avsluta menyn

Silikonkarbidbeläggning

Reaktordelar vi kan göra:

Kiselkarbidbeläggning flera unika fördelar:

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

CVD SIC FILM KRISTALSTRUKTUR

SIC -beläggningsskiva

SIC -beläggningscentrum

Sic beläggningskollektor

Sic beläggningssamlare botten

Sic beläggning av täckningssegment inre

SIC -beläggningssegment

Skicka förfrågan

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon

Fax

E-post

Adress