EPI -supporter

Vetek Semiconductor är en professionell ledare som China EPI genomförd, ALD Planetary Tugor och TAC Coated Graphite Support -tillverkare. och Vårt EPI -stöd är en viktig del avepitaxiell tillväxtI halvledartillverkningsprocessen. Dess huvudfunktion är att stödja och värma skivan så att ett högkvalitativt epitaxialt skikt kan odlas enhetligt på skivytan.

Vetek Semiconductors 'EPI-susceptorer är vanligtvis gjorda av högren grafit och belagd med ett lager kiselkarbid (SIC).Denna design har följande viktiga fördelar:

● Hög temperaturstabilitet: EPI -susceptorn kan förbli stabil i en hög temperaturmiljö, vilket säkerställer den enhetliga tillväxten av epitaxialskiktet.

● Korrosionsmotstånd: SIC -beläggningen har utmärkt korrosionsbeständighet och kan motstå erosion av kemiska gaser, vilket förlänger brickans livslängd.

● Termisk konduktivitet: Den höga värmeledningsförmågan hos SIC -material säkerställer enhetlig temperaturfördelning av skivan under uppvärmningen och därmed förbättrar det epitaxiala skiktets kvalitet.

● Termisk expansionskoefficient matchning: Den termiska expansionskoefficienten för SIC liknar grafitens problem, vilket undviker problemet med beläggning på grund av termisk expansion och sammandragning.

Grundläggande fysiska egenskaper hosCVD SIC -beläggning:

CVD SIC Coating Production Shop:

Översikt över Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: