SiC Coating Wafer Carrier

Vetek Semiconductor är specialiserat på tillverkning och leverans av högpresterande SiC-beläggningswaferbärare och har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknologi och produktlösningar till halvledarindustrin.

Inom halvledartillverkning är Vetek Semiconductors SiC-beläggningswaferbärare en nyckelkomponent i utrustning för kemisk ångavsättning (CVD), särskilt i utrustning för metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD). Dess huvudsakliga uppgift är att stödja och värma enkristallsubstratet så att det epitaxiella lagret kan växa jämnt. Detta är viktigt för tillverkning av högkvalitativa halvledarenheter.

Korrosionsbeständigheten hos SiC-beläggning är mycket bra, vilket effektivt kan skydda grafitbasen från korrosiva gaser. Detta är särskilt viktigt i hög temperatur och korrosiva miljöer. Dessutom är den termiska ledningsförmågan hos SiC-material också mycket utmärkt, vilket kan leda värme jämnt och säkerställa enhetlig temperaturfördelning, vilket förbättrar tillväxtkvaliteten hos epitaxiella material.

SiC-beläggning upprätthåller kemisk stabilitet i hög temperatur och korrosiv atmosfär, vilket undviker problemet med beläggningsfel. Ännu viktigare är att den termiska expansionskoefficienten för SiC liknar den för grafit, vilket kan undvika problemet med beläggningsavfall på grund av termisk expansion och sammandragning, och säkerställa beläggningens långsiktiga stabilitet och tillförlitlighet.

Grundläggande fysikaliska egenskaper hosSiC Coating Wafer Carrier:

Produktionsbutik:

Översikt över halvledarchipets epitaxiindustrikedja: