Tantal Carbide Technology Breakthrough, Sic Epitaxial förorening minskade med 75%?

Nyligen har det tyska forskningsinstitutet Fraunhofer IISB gjort ett genombrott i forskningen och utvecklingen avTantal Carbide Coating Technologyoch utvecklade en spraybeläggningslösning som är mer flexibel och miljövänlig än CVD -avsättningslösningen och har kommersialiserats.

Och den inhemska Vetek Semiconductor har också gjort genombrott på detta område, se nedan för mer information.

Fraunhofer iisb:

Utveckla en ny TAC -beläggningsteknik

Den 5 mars, enligt media "Halvledare", Fraunhofer IISB har utvecklat en nyTantal Carbide (TAC) beläggningsteknologi-Taccotta. Teknologilicensen har överförts till Nippon Kornmeyer Carbon Group (NKCG), och NKCG har börjat tillhandahålla TAC-belagda grafitdelar för sina kunder.

Den traditionella metoden för att producera TAC -beläggningar i branschen är kemisk ångavsättning (CVD), som står inför nackdelar som höga tillverkningskostnader och långa leveranstider. Dessutom är CVD -metoden också benägen att spricka av TAC under upprepad uppvärmning och kylning av komponenter. Dessa sprickor exponerar den underliggande grafiten, som försämras allvarligt över tid och måste bytas ut.

Innovationen av Taccotta är att den använder en vattenbaserad spraybeläggningsmetod följt av temperaturbehandling för att bilda en TAC-beläggning med hög mekanisk stabilitet och justerbar tjocklek pågrafitunderlag. Tjockleken på beläggningen kan justeras från 20 mikron till 200 mikron för att passa olika applikationskrav.

TAC -processtekniken utvecklad av Fraunhofer IISB kan justera de nödvändiga beläggningsegenskaperna, såsom tjocklek, såsom visas nedan i intervallet 35 um till 110 μm.

Specifikt har Taccotta spraybeläggning också följande nyckelfunktioner och fördelar:

● Mer miljövänlig: Med vattenbaserad spraybeläggning är denna metod mer miljövänlig och lätt att industrialisera;

● Flexibilitet: Taccotta -teknik kan anpassa sig till komponenter i olika storlekar och geometrier, vilket möjliggör partiell beläggning och komponentrenovering, vilket inte är möjligt på CVD.

● Minskad föroreningar av tantal: Grafitkomponenter med Taccotta -beläggning används vid SiC -epitaxial tillverkning, och tantalföroreningar reduceras med 75% jämfört med befintligaCVD -beläggningar.

● Slitmotstånd: Scratch -test visar att ökning av beläggningstjockleken kan förbättra slitmotståndet avsevärt.

Skraptest

Det rapporteras att tekniken har främjats för kommersialisering av NKCG, ett joint venture med fokus på att tillhandahålla högpresterande grafitmaterial och relaterade produkter. NKCG kommer också att delta i utvecklingen av Taccotta -teknik under lång tid i framtiden. Företaget har börjat tillhandahålla grafitkomponenter baserat på Taccotta -teknik till sina kunder.

Vetek Semiconductor främjar lokaliseringen av TAC

I början av 2023 lanserade Vetek Semiconductor en ny generation avSic Crystal Growthtermiskt fältmaterial-porös tantalkarbid.

Enligt rapporter har Vetek Semiconductor lanserat ett genombrott i utvecklingen avporös tantalkarbidmed stor porositet genom oberoende teknikforskning och utveckling. Dess porositet kan nå upp till 75%och uppnå internationellt ledarskap.