Gan på EPI -mottagaren

Som professionellhalvledartillverkarei Kina,Det halvledare Gan på EPI -mottagarenär en nyckelkomponent i beredningsprocessen förGan på sicenheteroch dess prestanda påverkar direkt kvaliteten på det epitaxiella skiktet. Med den utbredda tillämpningen av GaN på SIC -enheter inom kraftelektronik, RF -enheter och andra fält, kraven förSåledes EPI -mottagarenblir högre och högre. Vi fokuserar på att tillhandahålla den ultimata tekniken och produktlösningarna för halvledarindustrin och välkomnar ditt samråd.

Generellt sett är rollerna för GaN på SIC EPI -susceptor vid halvledarbearbetning som följer:

● Hög temperaturbehandlingsförmåga: GaN på Sic Epi Susceptor (GaN baserat på kiselkarbid -epitaxial tillväxtdisk) används huvudsakligen i den galliumnitrid (GaN) epitaxial tillväxtprocessen, särskilt i miljöer med hög temperatur. Denna epitaxiella tillväxtdisk tål extremt höga bearbetningstemperaturer, vanligtvis mellan 1000 ° C och 1500 ° C, vilket gör den lämplig för den epitaxiella tillväxten av GaN -material och bearbetning av kiselkarbid (SIC) -substrat.

● Utmärkt värmeledningsförmåga: SIC EPI -susceptor måste ha god värmeledningsförmåga för att jämnt överföra värmen som genereras av värmekällan till SIC -underlaget för att säkerställa temperaturens enhetlighet under tillväxtprocessen. Kiselkarbid har extremt hög värmeledningsförmåga (cirka 120-150 W/MK), och GaN på Sic Epitaxy Susceptor kan göra värme mer effektivt än traditionella material som kisel. Denna funktion är avgörande i den galliumnitridepitaxiella tillväxtprocessen eftersom den hjälper till att upprätthålla temperaturens enhetlighet hos substratet och därmed förbättra filmens kvalitet och konsistens.

● Förhindra föroreningar: Material- och ytbehandlingsprocessen för GaN på Sic EPI -susceptor måste kunna förhindra föroreningar av tillväxtmiljön och undvika införandet av föroreningar i det epitaxiella skiktet.

Som en professionell tillverkare avGan på EPI -mottagaren, Porös grafitochTAC -beläggningI Kina insisterar Vetek Semiconductor alltid på att tillhandahålla anpassade produkttjänster och har åtagit sig att förse branschen med toppteknik och produktlösningar. Vi ser uppriktigt fram emot ditt samråd och samarbete.

CVD SIC -beläggningsfilmkristallstruktur

Grundläggande fysiska egenskaper hos CVD SIC -beläggning

Det halvledare Gan på SIC EPI Susceptor Production Shops