TAC -belagd ring

Veteksemi TAC Coated Ring är en högpresterande komponent skräddarsydd för tillverkningsprocesser för halvledartillverkning. Dess unikt utformade tantalkarbidbeläggning (TAC) -beläggning ger produkten utmärkt hög temperaturmotstånd, korrosionsbeständighet och mekanisk stabilitet, vilket förbättrar livslängden och tillförlitligheten för grafitkomponenter i halvledarutrustning.

Överlägsen prestanda för tantalkarbidbeläggningar ：

● Ultrahög temperaturmotstånd: TAC-beläggningar kan lätt motstå extrema temperaturer på upp till 2200 ° C och förbli stabila under termiska chockmiljöer som är vanliga vid tillverkning av halvledar.

● Utmärkt kemisk stabilitet: Beläggningen visar stark motstånd mot vanliga frätande gaser såsom väte, ammoniak, kisel och kisel, vilket effektivt skyddar underlaget från kemisk attack.

● Utmärkta mekaniska egenskaper: TAC -beläggning har hög hårdhet, hög slitmotstånd och god termisk chockmotstånd och kan fungera stabilt under lång tid under hårda arbetsförhållanden.

● Utmärkt vidhäftning: Beläggningen är tätt bunden till grafitunderlaget, vilket effektivt förhindrar beläggningen från att skala av och säkerställa konsekvent prestanda under hela produktens livslängd.

● Hög renhet: TAC -beläggningen som utarbetats av CVD har extremt hög renhet, vilket minimerar införandet av föroreningar och ger en ren processmiljö för halvledartillverkning.

Fördelar med Tantalum Carbide -belagda ringar:

● Livsledningen för utökad utrustning: TAC -beläggning blockerar effektivt kemiska reaktioner och föroreningsdiffusion, vilket avsevärt förlänger livslängden för grafitkomponenter och minskar underhållskostnaderna.

● Förbättra produktionseffektiviteten: Produktens höga temperaturmotstånd och korrosionsmotstånd gör att den kan fungera under mer krävande förhållanden, förkorta produktionscykeln och öka produktionskapaciteten.

● Förbättrad produktkvalitet: TAC -beläggning med hög renhet hjälper till att minska föroreningar, vilket säkerställer kvaliteten och konsistensen hos halvledarprodukter.

Vetek Semiconductor har varit specialiserad på TAC -beläggningsprodukter somTAC Coating Chuck, TAC -beläggningsrotationsplatta, TAC -beläggningsunderlag, TAC -belagd skiva Susceptori många år. Våra TAC -belagda ringprodukter har funktionerna i livslängden för utökad utrustning, förbättrad produktionseffektivitet och förbättrad produktkvalitet. Samtidigt har Vetek Semiconductor länge åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknik och produktlösningar för halvledarindustrin. 

På grund av de olika kemiska egenskaperna hos grafit- och tantalkarbidmaterial kommer inte koefficienten för termisk expansion att matcha, och det är lätt att värmas upp vid hög temperatur genom vetekekonduktorn genom en specifik process för att främja bildningen av tantalkarbidbeläggningen delvis deponeras på ytan av matrisen, och delvis penetrerad i den grafit matrisen. På detta sätt är tantalens karbidbeläggning tätt kapslad i grafitmatrisen genom tillväxt på plats, vilket avsevärt ökar bindningskraften mellan beläggningen och matrisen och förhindrar effektivt skalningen av tantalens karbidbeläggning. Vi hoppas verkligen att bli din långsiktiga partner i Kina.

Tantalum Carbide Coated Rings Shops: