Produkter
TaC Coated Graphite Wafer Carrier
  • TaC Coated Graphite Wafer CarrierTaC Coated Graphite Wafer Carrier
  • TaC Coated Graphite Wafer CarrierTaC Coated Graphite Wafer Carrier

TaC Coated Graphite Wafer Carrier

Vetek Semiconductor har noggrant utformat TAC -belagda grafitskivbärare för kunder. Den består av högren grafit och TAC-beläggning, som är lämplig för olika skivepitaxial skivbehandling. Vi har varit specialiserade på SIC och TAC -beläggning i många år. Jämfört med SIC-beläggning har vår TAC-belagda grafitskivbärare en högre temperaturmotstånd och slitstöd. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Du kan vara säker på att köpa skräddarsydd TaC Coated Graphite Wafer Carrier från VeTek Semiconductor. Vi ser fram emot att samarbeta med dig, om du vill veta mer kan du rådfråga oss nu, vi kommer att svara dig i tid!

VeTek Semiconductor TaC Coated Graphite Wafer Carrier interagerar direkt med wafers i epitaxireaktorn, vilket förbättrar effektiviteten och prestanda. Med valet av beläggning av kiselkarbid eller tantalkarbid, erbjuder VeTek Semiconductor TaC Coated Graphite Wafer Carrier förlängd livslängd, upp till 2-3 gånger längre med tantalkarbid. Kompatibel med olika maskinmodeller, inklusive LPE SiC epitaxiugnar, JSG, NASO epitaxiugnar.

VeTek Semiconductor TaC-belagd grafitbärare säkerställer exakt reaktionsstökiometri, förhindrar migration av föroreningar och bibehåller temperaturstabilitet över 2000°C. Det uppvisar anmärkningsvärt motstånd mot H2, NH3, SiH4 och Si, vilket skyddar mot hårda kemiska miljöer. Den tål termiska stötar och möjliggör snabba driftcykler utan beläggningsdelaminering.

Vetek Semiconductor TAC-beläggning garanterar extremt hög renhet, eliminerar föroreningar och säkerställer konformt täckning av stränga dimensionella toleranser. Med Vetek Semiconductors avancerade grafitbearbetningsfunktioner är vi utrustade för att tillgodose dina anpassningsbehov. Oavsett om du behöver beläggningstjänster eller omfattande lösningar är vårt team av expertingenjörer redo att utforma den perfekta lösningen för dina specifika applikationer. Lita på oss att leverera högkvalitativa produkter anpassade efter dina krav och förväntningar.


PVT -metod Sic Crystal Growth :

PVT method SiC Crystal Growth


Produktparameter för TaC Coated Graphite Wafer Carrier

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet 14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga 0.3
Termisk expansionskoefficient 6,3 10-6/K
Hårdhet (HK) 2000 HK
Motstånd 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500 ℃
Grafitstorlek förändras -10 ~ -20um
Beläggningens tjocklek ≥20um typiskt värde (35um±10um)


VeTek Semiconductor Production Shop:

VeTek Semiconductor Production Shop


Översikt över halvledarchipets epitaxiindustrikedja:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: TAC -belagd grafitskivbärare
Skicka förfrågan
Kontaktinformation
För frågor om kiselkarbidbeläggning, tantalkarbidbeläggning, specialgrafit eller prislista, vänligen lämna din e-post till oss så hör vi av oss inom 24 timmar.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept