Vad är en elektrostatisk chuck (ESC)?

Den elektrostatiska chucken (ESC), även känd som den elektrostatiska chucken (ESC, e-chuck), är en fixtur som använder principen för elektrostatisk adsorption för att hålla och fixa adsorberat material. Det är lämpligt för vakuum- och plasmiljöer. Dess huvudfunktion är att adsorb ultra-Rengör tunna ark (såsom kiselskivor) och håll det adsorberade materialet vid en god planhet, vilket också kan hämma deformationen av det adsorberade materialet under processen och det kan justera adsorbatets temperatur.

En elektrostatisk chuck (ESC) är en speciell typ av chuck som använder elektrostatisk kraft för att hålla, trycka och plocka upp föremål (arbetsstycken). Allt material har positiva och negativa laddningar som är osynliga för blotta ögat. När materialet placeras på ESC och en bipolär spänning appliceras på ESC: s inre elektroder, kommer positiva och negativa laddningar att röra sig inom materialet för att matcha polariteten hos de inre elektroderna i ESC. Denna attraktion mellan ESC och materialet kallas elektrostatisk kraft och är också den grundläggande principen bakom våra chucks.

Produktfördelar

Den har ett brett driftstemperaturintervall (-50 till 700 ℃)

Dessa elektrostatiska sugkoppar har utmärkt styrka, termisk konduktivitet och termisk chockmotstånd och kan anpassa sig till ett brett temperaturintervall genom NGK: s proprietära keramiska volymresistivitetskontroll.

Hög korrosionsmotstånd

Dessa elektrostatiska sugkoppar har utmärkt korrosionsbeständighet mot halogengaser.

Bearbetning av låg partikel

Lågpartikelbehandling kan uppnås genom ytbehandling och speciell rengöring

Hög renhet

Produkter med en renhet på 99,9% eller högre är också tillgängliga.

Värmefunktion

Högprecisionsvärmeelement inbäddningsteknologi kan integreras med värmarfunktionen och skivtemperaturen kan styras inom ± 1%.

Kylfunktion

Dessa elektrostatiska sugkoppar har extremt höga kylprestanda genom att binda keramiska plattor med hög värmeledningsförmåga och kylplattor.

Radiofrekvenselektrod

Bulkmetallelektroder kan samtidigt tillhandahålla stabil skivklämma och radiofrekvensplasmalgenerering.

Parameter

1.Inom området halvledare och elektronisk tillverkning: Under halvledar- och elektroniska tillverkningsprocesser används elektrostatiska sugkoppar för att fixa och hantera tunna och bräckliga kiselskivor, skivor, etc. Dess fördelar ligger i stark adsorptionskraft, ingen mekanisk stress och enkel drift, vilket effektivt förbättrar produktionseffektiviteten och produktkvaliteten.

2. Glas- och keramikindustrin: Under processerna för skärning, slipning och hantering av glas och keramik kan elektrostatiska sugkoppar utföra icke-förstörande operationer på spröda material, vilket minskar produktens brott.

3. Tillverkning av precisionsmaskiner och optiska komponenter: För precisionsmaskiner och optiska komponenter kan elektrostatiska sugkoppar ge stabil adsorptionskraft, förhindra deformation eller repor under bearbetning.

4. Automatiserade produktionslinjer: I automatiserade produktionslinjer används elektrostatiska sugkoppar i stor utsträckning i positionering, hantering och montering av delar etc., vilket förbättrar graden av automatisering och effektivitet i produktionslinjen.