Solid Sic -gasduschhuvud

Solid SiC gasduschhuvud

Vetek Semiconductor är ett integrerat företag som ägnas åt forskning, produktion och försäljning. Vetek Semiconductor har arbetat med halvledarens epitaxi, etsning och andra processrelaterade produkter under många år, särskilt CVD SIC-beläggning, CVD TAC-beläggning och CVD-solid SIC är våra flaggskeppsprodukter.

Vetek Semiconductor Solid Sic Gas Shower Head används ofta för att jämnt fördela föregångarsgaser på substratytan under halvledar CVD -processer. Att använda CVD-SIC-material för duschhuvuden erbjuder flera fördelar. Dess höga värmeledningsförmåga hjälper till att sprida värme som genereras i CVD -processen, vilket säkerställer enhetlig temperaturfördelning på underlaget. Dessutom gör CVD Sic Shower Heads kemiska stabilitet det att motstå frätande gaser och hårda miljöer som vanligtvis stöter på i CVD -processer. 

Designen av CVD SiC duschmunstycken kan skräddarsys för specifika CVD-system och processkrav. Emellertid består de vanligtvis av en platta eller skivformad komponent med en serie precisionsborrade hål eller slitsar. Hålmönstret och geometrin är noggrant utformade för att säkerställa enhetlig gasfördelning och flödeshastighet över substratytan.

Fysiska egenskaper hos fast SIC