Kiselkarbidkeramik

VeTek Semiconductor är din innovativa partner inom halvledarbearbetning. Med vår omfattande portfölj av materialkombinationer av kiselkarbidkeramik av halvledarkvalitet, komponenttillverkningsmöjligheter och applikationstekniska tjänster kan vi hjälpa dig att övervinna betydande utmaningar. Teknisk teknisk kiselkarbidkeramik används i stor utsträckning inom halvledarindustrin på grund av deras exceptionella materialprestanda. VeTek Semiconductors ultrarena kiselkarbidkeramik används ofta under hela cykeln av halvledartillverkning och -bearbetning.

DIFFUSION & LPCVD-BEHANDLING

VeTek Semiconductor tillhandahåller konstruerade keramiska komponenter speciellt designade för batchdiffusion och LPCVD-krav inklusive:

• Bafflar & hållare
• Injektorer
• Liners & processtuber
• Fribärande paddlar av kiselkarbid
• Waferbåtar och piedestaler

SiC Cantilever paddel SiC processrör Processrör av kiselkarbid SiC vertikal waferbåt SiC horisontell waferbåt SiC horizontals fyrkantig waferbåt SiC LPCVD waferbåt SiC horisontell plattbåt SiC keramisk tätningsring

ETSA PROCESSKOMPONENTER

Minimera kontaminering och oplanerat underhåll med komponenter med hög renhet som är konstruerade för strängheten vid plasmaetsning, inklusive:

SNABB TERMISK BEHANDLING & EPITAXIAL PROCESSKOMPONENTER

VeTek Semiconductor tillhandahåller avancerade materialkomponenter skräddarsydda för applikationer för termisk bearbetning vid hög temperatur inom halvledarindustrin. Dessa applikationer omfattar RTP, Epi-processer, diffusion, oxidation och glödgning. Vår tekniska keramik är designad för att motstå termiska stötar, vilket ger pålitlig och konsekvent prestanda. Med VeTek Semiconductors komponenter kan halvledartillverkare uppnå effektiv och högkvalitativ termisk bearbetning, vilket bidrar till den övergripande framgången för halvledarproduktion.