Nyheter

Vad är CVD TAC Coating? - Veteksemi

Som vi alla vet,tantalkarbid (TaC)har en smältpunkt på upp till 3880 ° C, hög mekanisk hållfasthet, hårdhet, termisk chockbeständighet; god kemisk tröghet och termisk stabilitet mot ammoniak, väte, kiselhaltig ånga vid höga temperaturer.

Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section picture

Tantalkarbidbeläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt


CVD TAC -beläggning, kemisk ångavsättning (CVD) avTantal Carbide (TAC) beläggning, är en process för att bilda en högdensitet och hållbar beläggning på ett substrat (vanligtvis grafit). Denna metod innebär avsättning av TaC på ytan av substratet vid höga temperaturer, vilket resulterar i en beläggning med utmärkt termisk stabilitet och kemisk beständighet.


De främsta fördelarna med CVD TaC-beläggningar inkluderar:


●  Extremt hög termisk stabilitet: Tantalkarbidbeläggning tål temperaturer över 2200°C.


●  Kemisk beständighet: CVD TaC-beläggning kan effektivt motstå starka kemikalier som väte, ammoniak och kiselånga.


●  Stark vidhäftning: TaC-beläggningen säkerställer långvarigt skydd utan delaminering.


●  Hög renhet: Minimerar föroreningar, vilket gör det idealiskt för halvledarapplikationer.


Fysikaliska egenskaper hos tantalkarbidbeläggning
TAC -beläggningstäthet
14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga
0.3
Termisk expansionskoefficient
6,3*10-6/K
Beläggningshårdhet (HK)
2000 HK
Motstånd
1 × 10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet
<2500℃
Grafitstorleken ändras
-10 ~ -20um
Beläggningstjocklek
≥20um typiskt värde (35um ± 10um)


Dessa beläggningar är särskilt lämpliga för miljöer som kräver hög hållbarhet och motståndskraft mot extrema förhållanden, såsom halvledartillverkning och industriella processer med hög temperatur.


I industriell produktion, grafit (kol-kol komposit) material belagda med TaC-beläggning är mycket sannolikt att ersätta traditionell högren grafit, pBN-beläggning, SiC-beläggningsdelar, etc. Dessutom, inom flyg- och rymdområdet, har TaC stor potential att användas som en högtemperatur-antioxidation och anti-ablationsbeläggning, och har breda tillämpningsmöjligheter. Det finns dock fortfarande många utmaningar för att uppnå beredningen av tät, enhetlig, icke flagnande TaC-beläggning på ytan av grafit och främja industriell massproduktion.


I denna process är att utforska skyddsmekanismen för beläggningen, innovera produktionsprocessen och konkurrera med den bästa utländska nivån avgörande för tredje generationenshalvledarkristalltillväxt och epitaxi.




Vetek Semiconductor är en professionell kinesisk tillverkare av CVD Tantalum Carbide Coating Products, och vår TAC -beläggningsrenhet är under 5 ppm, kan uppfylla kundkraven. Veteksemi Huvud CVD TAC -belagda produkter inkluderar CVD TAC -beläggningsområde, CVD TAC -beläggningsföretagare, CVD TAC beläggningsbärareCVD TaC beläggningsskydd,  CVD TaC beläggningsring. Vetek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerade lösningar för olika beläggningsprodukter för halvledarindustrin. Vetek Semiconductor hoppas uppriktigt att bli din långsiktiga partner i Kina.


VeTek CVD TaC Coating CarrierVETEK CVD TaC Coating CoverVETEK CVD TaC Coating Crucible

VETEK CVD TaC Coating RingVETEK CVD TaC Coating Wafer CarrierCVD TAC Coating PARTS


Om du har några frågor eller behöver ytterligare information, tveka inte att kontakta oss.

Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

E-post: anny@veteksemi.com

Relaterade nyheter
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept