Produkter

Kvartsduschhuvudet, även känt som en kvarts gasfördelningsplatta, är en kritisk komponent som används i halvledarens tunnfilmavlagringsprocesser såsom CVD (deponering av kemisk ång), PECVD (plasma-förbättrad CVD) och ALD (atomskiktavsättning). Tillverkad av hög renhet smält kvarts, säkerställer denna komponent ultra-låg förorening och utmärkt termisk stabilitet, vilket möjliggör exakt gasleverans och enhetlig filmtillväxt över skivytan. Ser fram emot ditt ytterligare samråd.

Våra TAC-belagda grafitguidringar är precisionskärnkomponenter för tillverkning av halvledarskivor. De har en grafitunderlag med hög renhet med en slitstöd och kemiskt inert tantalkarbid (TAC) beläggning. De är designade för krävande processer såsom epitaxial deponering och plasma -etsning och säkerställer exakt skivinriktning och stabilitet, kontrollerar effektivt föroreningar och förlänger komponentlivslängden betydligt. Veteksemicon erbjuder anpassningstjänster för att perfekt matcha din utrustning och processkrav.

Veteksemicon Semiconductor Quartz Screen är en viktig komponent i metallorganiska kemiska ångavlagringssystem (MOCVD), som spelar en avgörande roll för att optimera tunna filmtillväxtprocesser. Denna produktdetaljsida belyser Veteksemicons högenhetskvartskärmar, utformade för att förbättra enhetligheten, renheten och underhållseffektiviteten för MOCVD-utrustning.

Kvarts i hög renhet är en viktig kärnkomponent i avancerade halvledarprocesser, särskilt för applikationer som kräver extremt hög termisk stabilitet, kemisk renhet och dimensionell noggrannhet. Veteksemicon erbjuder överlägsna kvartskorskor med hög renhet som är utformade för att möta de extrema kraven från halvledarprocesser.

Den porösa SIC-keramiska chucken från Veteksemicon är en precisionskonstruerad vakuumplattform utformad för säker och partikelfri skivhantering i avancerade halvledarprocesser såsom etsning, jonimplantation, CMP och inspektion. Tillverkad av porös kiselkarbid med hög renhet erbjuder den enastående värmeledningsförmåga, kemisk resistens och mekanisk styrka. Med anpassningsbara porstorlekar och dimensioner levererar Veteksemicon skräddarsydda lösningar för att möta de stränga kraven från renrumsbehandlingsmiljöer.

Våra kvartskivbåtar är högrenare för hög renhet som är skräddarsydd för halvledare, LED, solcell och batteritillverkningsprocesser. Denna kvartsbåt är konstruerad för att uthärda höga temperaturer och kemiskt aggressiva miljöer och har låg termisk expansion, utmärkt elektrisk isolering och långvarig dimensionell stabilitet. Idealisk för diffusions-, oxidations- och LPCVD -processer stöder den exakt skivinriktning och finns i olika storlekar för att uppfylla olika utrustningskrav.