PZT piezoelektriska wafers (PZT på Si/SOI)

1. Teknisk arkitektur

Våra wafers har en sofistikerad flerskiktsstapelstruktur utformad för att säkerställa optimal vidhäftning, konduktivitet och piezoelektrisk respons under komplex MEMS-bearbetning:

 ●Toppelektrod (nyckelskikt): Pt (platina).

● Piezolager (kärnlager): PZT.

● Mellanlager: Inkluderar buffertskikt, bottenelektrod och vidhäftningsskikt för att optimera kornorientering och strukturell stabilitet.

● Substrat: Kompatibel med Si eller SOI wafers.

2. Kvalitetssäkring & mikrostrukturanalys

Vi säkerställer hög tillförlitlighet genom rigorös teknisk karakterisering:

 ●SEM-analys: Scanning Electron Microscopy (SEM)-bilder avslöjar en tät, sprickfri ytmorfologi med enhetlig kornstorleksfördelning, idealisk för högtillförlitliga MEMS-applikationer.

 ●XRD-karakterisering: Röntgendiffraktionsmönster (XRD) bekräftar ren perovskitfasbildning med en stark (100) föredragen orientering, vilket säkerställer maximala piezoelektriska prestandakoefficienter.

3. Tekniska specifikationer (egenskaper)

4. Kärnapplikationer

 ● Piezoelektriska mikrobearbetade ultraljudsgivare (pMUT): Högfrekventa miniatyriserade arrayer för fingeravtryckssensorer, gestigenkänning och ultraljudsradar för bilar.

 ● Kommunikation: Nyckel för tillverkning av FBAR- eller SAW-filter i 5G/6G för att uppnå bredare bandbredd och lägre insättningsförlust.

 ● Akustiska MEMS: Ger kraftfull transientrespons för MEMS-högtalare och förbättrar Signal-to-Noise Ratio (SNR) för MEMS-mikrofoner.

 ● Precision Fluid Control: Höghastighetsvibrationer via d31-läge för exakt kontroll av droppvolymen i bläckstråleskrivhuvuden i nanoliterskala.

 ● Medicin och skönhet (mikropumpning): Driver medicinska nebulisatorer eller kosmetiska ultraljudspumpar med hög tillförlitlighet och kompakt storlek.

5. Anpassningstjänster

Förutom standarddeponering på Si-wafers tillhandahåller vi även anpassade deponeringstjänster:

 ●Anpassning av film och tjocklek: Avsättning av specifika filmtyper och anpassade tjocklekar enligt designkrav.

 ●OEM-gjuteri: Acceptans av wafers levererade från kunder för högkvalitativ piezoelektrisk tunnfilmstillväxt.

 ●SOI Substrat Support: Specialiserad avsättning på SOI-skivor med följande specifikationer: