Anpassad grafitvärmare för varm zon

Varför välja VETEK?

  ●Extrem termisk enhetlighet: VETEK-värmare genomgår exakt strukturell simulering och design för att säkerställa enastående temperaturkonsistens även i extrema miljöer upp till 2200°C, vilket effektivt ökar waferutbytet.

  ●Materialsäkring med hög renhet: Vi väljer strikt isostatisk grafit med hög renhet och bibehåller askhalten på ultralåga nivåer för att eliminera metalljonkontamination vid höga temperaturer från källan.

  ●Avancerad beläggningsteknik: Genom att utnyttja VETEK:s kärnstyrkor erbjuder vi valfria SiC-beläggningar (kiselkarbid). Detta förbättrar avsevärt oxidations- och korrosionsbeständigheten, vilket säkerställer en längre livslängd i tuffa kemiska gasmiljöer.

  ●Precisionsanpassning: Oavsett om det är cylindriska, spiralformade eller komplexa skivstrukturer, tillhandahåller VETEK högprecisionsbearbetning baserat på dina tekniska ritningar för att säkerställa en perfekt passform med din utrustning.

  ●Omfattande logistikskydd: VETEK inser grafitens ömtåliga natur och har uppgraderat sitt förpackningssystem. Vår flerlagers anti-chockförstärkning säkerställer "noll skada" under internationell transit, vilket eliminerar oro över produktionsförseningar.

Kärnapplikationsfält

  ●Halvledarepitaxi: Termiska kärnfältskomponenter för MOCVD-utrustning (kompatibel med vanliga modeller som K465i).

  ●SiC-kristalltillväxt: Precision termisk fältkontroll för tillväxten av kiselkarbid och andra halvledarmaterial med breda bandgap.

  ●Högtemperaturvakuumutrustning: Används i stor utsträckning i vakuumsintringsugnar, precisionslödning och avancerad värmebehandlingsutrustning.

  ●Substrat för avancerade beläggningar: Idealiskt basmaterial för CVD SiC, SiN eller SiO beläggningar.

Tekniska specifikationer

Vi stöder även skräddarsydda material med högre renhetsnivåer för specifika driftsförhållanden.

Veteksemicon Produktbutik