Hög renhet ogenomskinlig kvartssköld och slutare för MOCVD

1. Tekniska specifikationer

Vi tillhandahåller högprecisionsbearbetning baserat på dina tekniska ritningar för att säkerställa en perfekt passform med dina specifika utrustningsmodeller.

2. Kärnapplikationsfält

● MOCVD-processskydd: Fungerar som väsentliga inre sköldar/liners för att skydda reaktionsmiljön.

● Halvledarepitaxi: Används som högprecisionsluckor för flödes- och temperaturstabilisering under tunnfilmstillväxt.

● Tillverkning av halvledare med breda band: Kompatibel med miljöer med hög efterfrågan för GaN och andra avancerade material.

3. Varför välja VETEK Quartz Solutions?

● Överlägsen termisk strålningshantering: Vår mjölkvita kvarts innehåller en hög densitet av mikrobubblor som effektivt sprider och blockerar värmestrålning vid hög temperatur (>1000°C). Den absorberar synligt och nära-infrarött ljus från värmeelement och omvandlar det till fjärrinfraröd strålning, vilket säkerställer en mycket jämn uppvärmning.
● Kontamineringskontroll och enkelt underhåll: Som ett offer eller utbytbart innerfoder håller Quartz Shield reaktionskammaren ren genom att förhindra avsättning av biprodukter på dyra kammarväggar och värmare. Dessa delar kan regenereras genom våtrengöring (som SPM+DHF-lösningar) eller enkelt bytas ut för att säkerställa högt utbyte av wafer.
● Extremt kemiskt motstånd: VETEK-kvarts är konstruerad för att motstå frekventa termiska cykler och motstå korrosion från metallorganiska ämnen (som TMGa) och hydrider (som AsH₃).
● Precision Process Control: Våra kvartsluckor bibehåller hög dimensionell stabilitet under infraröd eller glödtrådsuppvärmning. Deras låga termiska tröghet möjliggör snabb mekanisk respons, vilket möjliggör exakt "atomär nivå" tillväxtkontroll och förhindrar korskontaminering under multi-wafer eller multi-process switching.
● Kostnadseffektivt alternativ: För projekt med strikta budgetkrav ger våra kvartsprodukter en pålitlig ingångspunkt jämfört med belagd grafit, och erbjuder väsentligt skydd och funktionalitet för MOCVD-system.