8-tums CVD Silicon Carbide (SiC) belagd epitaxi toppring

Nyckelegenskaper hos 8 tum SiC Epi Top Ring

● Hög renhet: 99,9995 % minimum. Metall migrerar inte in i epi-lagret. Detta håller waferbärarkoncentrationen där den behöver vara.

● Partikelundertryckning: CVD-strukturen är tät. Inga porer. Det kommer inte att avge partiklar medan verktyget är igång. Fabriker ser bättre avkastning på detta sätt.

● Värmebeständighet: Ringen håller sig stabil vid 1500°C. Låg CTE (termisk expansion) innebär ingen skevhet under snabba uppvärmnings-/nedkylningscykler.

● Kemisk stabilitet: Den fasta CVD SiC motstår H2- och HCl-gaser. Den motstår även NH3. Den har ingen beläggning att skala av. Det bryts inte ned i tuffa CVD-miljöer.

● Komponentlivslängd: Ytan är extremt hård. Den överlever upprepad HF/HCl kemisk rengöring. Detta minskar utbytesfrekvensen. Det sänker också den totala ägandekostnaden för fabriken.

Tekniska specifikationer

Likformigheten hos beläggningstjockleken mellan satserna kontrolleras vid 10um

Ansökningar

CVD SiC epi-toppringen används ofta i:

● Kiselepitaxi (Si Epi) reaktorer

● Kiselkarbidepitaxi (SiC Epi)

● MOCVD-system

● CVD-deponeringsutrustning

Vanligtvis ihopkopplad med:

● Susceptorer

● Waferbärare

● Förvärm ringar

● Epitaxireaktorer

Varför ha VETEK SiC Epi Top Ring?

● Full tillverkningskapacitet: 

Från råmaterialrening till precisionsbearbetning och CVD-beläggning kontrollerar VETEK hela produktionsprocessen för att säkerställa konsekvent halvledarkvalitet.

● Hög noggrannhet: 

Vi använder bearbetning på mikronnivå. CVD-tjockleken är mycket enhetlig. Detta gör att varje ring fungerar exakt på samma sätt.

FAQ

(1) Vad gör SiC epi-toppringen?

Ringen hanterar värme och gasflöde. Det ser till att den tunna filmen växer jämnt över rånet.

(2) Varför är CVD SiC bättre än grafit?

Grafit är poröst. Grafit har porer och släpper ut gas. Solid CVD SiC är tät och ren. Det håller mycket längre i frätande verktyg.

(3). Kan 8-tums SiC-toppringen anpassas?

Ja. Vi bygger efter dina specifika verktygsritningar. Vi kan justera geometrin utifrån din process.

(4). Vilka industrier använder SiC epitaxiringar?

De används huvudsakligen i halvledartillverkning, inklusive kraftenheter, RF-enheter och SiC-waferproduktion.