Annan halvledarkeramik

Den porösa SIC-keramiska chucken från Veteksemicon är en precisionskonstruerad vakuumplattform utformad för säker och partikelfri skivhantering i avancerade halvledarprocesser såsom etsning, jonimplantation, CMP och inspektion. Tillverkad av porös kiselkarbid med hög renhet erbjuder den enastående värmeledningsförmåga, kemisk resistens och mekanisk styrka. Med anpassningsbara porstorlekar och dimensioner levererar Veteksemicon skräddarsydda lösningar för att möta de stränga kraven från renrumsbehandlingsmiljöer.

Våra kvartskivbåtar är högrenare för hög renhet som är skräddarsydd för halvledare, LED, solcell och batteritillverkningsprocesser. Denna kvartsbåt är konstruerad för att uthärda höga temperaturer och kemiskt aggressiva miljöer och har låg termisk expansion, utmärkt elektrisk isolering och långvarig dimensionell stabilitet. Idealisk för diffusions-, oxidations- och LPCVD -processer stöder den exakt skivinriktning och finns i olika storlekar för att uppfylla olika utrustningskrav.

Vår kvartsbåt med hög renhet är tillverkad av smält kvarts (SIO₂ -innehåll ≥ 99,99%). Med sitt utmärkta motstånd mot extrema miljöer, låg värmeutvidgningskoefficient och lång livslängdscykel har den blivit en oföränderlig nyckel förbrukningsbar i halvledaren och nya energiindustrin.

Fokusring för etsning är nyckelkomponenten för att säkerställa processnoggrannhet och stabilitet. Dessa komponenter monteras exakt i en vakuumkammare för att uppnå enhetlig bearbetning av nanoskala strukturer på skivytan genom exakt kontroll av plasmafördelning, kanttemperatur och elektriska fält enhetlighet.

Vetekemicon är en ledande vakuumchucktillverkare i Kina, vår keramiska vakuumchuck fungerar som en högändad vakuumadsorptionsanordning orienterad mot exakt adsorberande och immobiliserande skivor och göt. Välkommen din förfrågan.

Semiconductor -kvartsburk är en viktig utrustningskomponent som huvudsakligen används i miljöer med hög temperatur, högt tryck och hög renhet. Det är tillverkat av kvartsmaterial med hög renhet, har utmärkt termisk stabilitet, kemisk resistens och optisk transparens och används allmänt inom industrifält som halvledartillverkning och LED -produktion. Vetek Semiconductor har många års processackumulering i halvledarkvalitetskvartskalan och kan tillhandahålla anpassade produkter enligt kundens behov. Ser fram emot din förfrågan.