Kiselpedestal

VeTek Semiconductor silicon susceptor är en ren kiselprodukt designad för att säkerställa temperaturstabilitet i det termiska reaktorröret under kiselwafer-bearbetning, och därigenom förbättra värmeisoleringseffektiviteten. Bearbetning av kiselskivor är en extremt exakt process, och temperaturen spelar en avgörande roll, som direkt påverkar tjockleken och enhetligheten hos kiselskivans film.

Kiselpiedestalen är placerad i den nedre delen av ugnens termiska reaktorrör, och stöder kisletskivbäraremedan du ger effektiv termisk isolering. I slutet av processen svalnar den gradvis ner till omgivningstemperatur tillsammans med kiselskivbäraren.

Kärnfunktioner och fördelar med Vetek Semiconductor Silicon Piedestals:

Ge stabilt stöd för att säkerställa processnoggrannhet

Kiselpiedestalen ger en stabil och mycket värmebeständig stödplattform för kiselbåten i högtemperaturugnskammaren. Denna stabilitet kan effektivt förhindra kiselbåten från att skifta eller luta under bearbetningen, och därigenom undvika att påverka enhetligheten i luftflödet eller förstöra temperaturfördelningen, vilket säkerställer hög precision och konsistens i processen.

Förbättra temperaturlikformigheten i ugnen och förbättra waferkvaliteten

Genom att isolera kiselbåten från direktkontakt med ugnsbotten eller väggen kan kiselbasen minska värmeförlusten orsakad av ledning och därmed uppnå en mer enhetlig temperaturfördelning i det termiska reaktionsröret. Denna enhetliga termiska miljö är avgörande för att uppnå enhetlighet i skivdiffusion och oxidskikt, vilket förbättrar den totala kvaliteten på skivan.

Optimera värmeisoleringsprestanda och minska energiförbrukningen

De utmärkta termiska isoleringsegenskaperna för kiselbasmaterialet hjälper till att minska värmeförlusten i ugnskammaren och därigenom förbättrar processens energieffektivitet. Denna effektiva termiska hanteringsmekanism påskyndar inte bara cykeln för uppvärmning och kylning, utan minskar också energiförbrukning och driftskostnader, vilket ger en mer ekonomisk lösning för halvledartillverkning.

Specifikationer för VeTek Semiconductor Silicon Piedestal

VeTek Semiconductor Silicon Pedestal produktionsbutiker