Produkter
Tantalkarbidbelagd chuck
  • Tantalkarbidbelagd chuckTantalkarbidbelagd chuck

Tantalkarbidbelagd chuck

Vetek Semiconductor är en ledande Tantalum-karbidbelagd Chuck-tillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på TAC-beläggning i många år. Våra produkter har när som helst.

Vetek Semiconductor levererar högkvalitativ tantalkarbidbelagd chuck, sic beläggningsdelar med konkurrenskraftigt pris. Detta tillbehör förbättrar effektiviteten och kvaliteten i halvledartillverkning och levererar enastående prestanda och tillförlitlighet.

Tillverkad av högkvalitativa material och tillverkas med precision har Chuck ett grafit-substrat belagt med CVD-tantalkarbid (TAC). Denna beläggning ger utmärkt termisk stabilitet, hög renhet och motstånd mot höga temperaturer. Det säkerställer tillförlitlig prestanda i de krävande förhållandena för MOCVD -processer.

Chucken kan anpassas för att rymma olika halvledarskivstorlekar, vilket gör den lämplig för olika produktionskrav. Dess robusta konstruktion minimerar driftstopp och underhållskostnader förknippade med skivbärare och susceptorer.

Med Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Chuck uppnår Aixtron G10 MOCVD -systemet högre effektivitet och överlägsna resultat i halvledartillverkning. Dess exceptionella termiska stabilitet, kompatibilitet med olika skivstorlekar och pålitlig prestanda gör det till ett viktigt verktyg för att optimera produktionseffektiviteten och uppnå enastående resultat i den utmanande MOCVD -miljön.


Produktparameter för tantalens karbidbelagd chuck

Fysikaliska egenskaper hos TAC -beläggning
Densitet 14.3 (g/cm³)
Specifik emissivitet 0.3
Termisk expansionskoefficient 6.3 10-6/K
Hårdhet (HK) 2000 HK
Motstånd 1 × 10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500 ℃
Grafitstorlek förändras -10 ~ -20um
Beläggningstjocklek ≥20um Typiskt värde (35UM ± 10UM)


Wafer -prestanda efter att ha använt våra komponenter:

Wafer performance after using our components


Jämför Semiconductor Production Shop :

VeTek Semiconductor Production Shop


Översikt över Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: Tantalkarbidbelagd chuck
Skicka förfrågan
Kontaktinformation
För frågor om kiselkarbidbeläggning, tantalkarbidbeläggning, specialgrafit eller prislista, vänligen lämna din e-post till oss så hör vi av oss inom 24 timmar.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept