TAC belagd trepetallring

Vetek Semiconductor är en professionell Kina TAC belagd trerepetallringstillverkare och leverantör. TAC-belagda trepetallring används i AIXTRON G10-deponeringssystem för sammansatt halvledare, G10-gan 150/200 mm hög genomströmning Epitaxy för GAN Power & RF applikationer.

VeTek Semiconductor TaC-beläggning är en ny generation av högtemperaturbeständigt material, med bättre högtemperaturstabilitet än SiC, eftersom en korrosionsbeständig beläggning, oxidationsbeständig beläggning, slitstark beläggning, kan användas i miljöer över 2000 ℃, ofta används i Aerospace ultrahög temperatur varma änden delar, den tredje generationen av halvledar enkristall tillväxt och andra områden.

Produktegenskaper:

1. Hög renhet, föroreningsinnehåll <5ppm

2. Hög temperaturmotstånd, korrosionsmotstånd, hög densitet, hög densitet

3. Det är kemiskt inert mot ammoniak, väte, silan och kisel vid hög temperatur och har god termisk stabilitet.

4. Termisk chockmotstånd, kan påskynda operationscykeln

5. Stark grafitvidhäftning säkerställer lång livslängd och ingen delaminering av beläggningen.

6. Strikta dimensionstoleranser.

Huvudapplikationer:

1. Epitaxiell tillväxt

2. Enkristalltillväxt

3. Korrosionsavledning vid hög temperatur

4. Hög temperatur och oxidationsbeständig munstycke

5. Gasturbinblad

Produktparameter för TAC-belagda trepetallring

Jämför Semiconductor Production Shop ：