Kiselkarbid sic wafer båt

Vetekemicon Sic Wafer Boat är en kärnbärare utformad specifikt för högtemperaturhalvledarprocesser. Genom att använda hög renhet isostatiskt pressad grafit som sitt underlag använder denna produkt patenterad kemisk ångavsättningsteknologi för att bilda en tät, icke-porös kiselkarbidskyddsskikt på ytan.

Detta skikt kombinerar sömlöst den utmärkta värmeledningsförmågan hos grafit med den exceptionella korrosionsbeständigheten hos kiselkarbid. Den strikt kontrollerade beläggningen uppnår en tjocklek på 80-120 μm, vilket effektivt motstår korrosion från olika sura och alkaliska atmosfärer, vilket minskar risken för metallföroreningar avsevärt. Den upprätthåller strukturell stabilitet och dimensionell integritet även i miljöer med högt temperatur, vilket ger tillförlitligt skydd och stöd för skivor under kritiska processer såsom oxidation, diffusion och epitaxial tillväxt, vilket effektivt förlänger skivlivslivet med mer än tre gånger den för konventionella grafitbåtar.

Ⅰ. Tekniska parametrar

Ⅱ. Veteksemicon sic wafer båtkärnfördelar

• Utmärkt korrosionsmotstånd

SIC-beläggningen på Veteksemicon Wafer-båten deponeras med vår proprietära högtemperatur CVD-process, vilket resulterar i en tät, enhetlig struktur som är helt fri från porer och sprickor. Denna fasta barriär isolerar effektivt skivorna från ugnsmiljön. Starka oxiderande atmosfärer, fluorerade föreningar och andra frätande gaser är ogenomträngliga för detta skyddande skikt. Detta innebär att dina skivor är skyddade från förorening, medan båten själv förblir intakt genom upprepade extrema processer, vilket avsevärt förlänger sin livslängd.

• Ultrahög renhetsmaterial

Vi förstår att även den minsta föroreningen kan göra ett helt parti med skivor värdelösa. Därför kontrollerar Veteksemicon noggrant råvaror, med importerad isostatiskt pressad grafit med en renhet som överstiger 99.9995% som ett substrat. SIC -beläggningen avsatt på detta underlag uppnår också 99.999% renhet, med kritiska föroreningar som natrium, kalium, järn och tungmetaller som hålls till extremt låga nivåer (PPB). Denna nästan intrinsiska renhet säkerställer att inga föroreningar släpps vid höga temperaturer, vilket i grunden eliminerar risken för nedbrytning av enhetens prestanda på grund av bärarelaterade problem.

• Utmärkt termisk stabilitet

Halvledartillverkning kräver extremt konsekventa termiska processer. Vetekemicon Wafer Boat's koefficient för termisk expansion är noggrant utformad för att nära matcha kiselskivor. Under snabb uppvärmning och kylning rör sig båten och skivan synkroniserad, vilket minskar risken för gitterfel och vridning orsakad av termisk stress. Det kan tåla kontinuerliga driftstemperaturer upp till 1600 ℃ och upprätthålla utmärkt mekanisk styrka och dimensionell stabilitet även vid dessa höga temperaturer. Detta säkerställer repeterbarhet och tillförlitlighet i varje processkörning, vilket ger en solid grund för toleranskontroll inom chiptillverkning.

• Hållbar mekanisk styrka

Värdet på våra produkter ligger inte bara i den initiala investeringen utan också i den långsiktiga ägandekostnaden. Jämfört med traditionella kvarts- eller grafitkomponenter erbjuder Vetekemicon Sic Wafer -båtar exceptionellt slitage och slagmotstånd. Deras höga ythårdhet motstår repor och skräp under hantering och rengöring. Denna seghet gör det möjligt för dem att lätt motstå över 200 högtemperaturprocesscykler och nödvändiga rengöringsförfaranden, vilket avsevärt minskar upphandlingskostnaderna, lagerkostnaderna och utrustningens driftstopp i samband med ofta komponentbyte.

• Ekologisk kedjeverifieringsgodkännande

Vetekemicon Sic Wafer Boat 'Ecological Chain Verification täcker råvaror till produktion, har passerat internationell standardcertifiering och har ett antal patenterade tekniker för att säkerställa dess tillförlitlighet och hållbarhet inom halvledaren och nya energifält.

Ⅲ. Huvudapplikationsfält

För detaljerade tekniska specifikationer, vitböcker eller provtestarrangemang, vänligen kontakta vårt tekniska supportteam för att utforska hur Veteksemicon kan förbättra din processeffektivitet.

Veteksemicon Products Warehouse