Focusring av kiselkarbid

Allmän produktinformation

Produktens affärsvillkor

Ansökan: I halvledartorretsningsprocesser är fokusringen en nyckelkomponent som säkerställer processens enhetlighet. Den omger skivan tätt och, genom att exakt kontrollera fördelningen av plasma vid skivans kanter, bestämmer den direkt enhetligheten och konsistensen av etsningsprocessen, vilket gör den till en oumbärlig del för att garantera spånutbytet.

Tjänster som kan tillhandahållas: analys av kundapplikationsscenario, matchande material, teknisk problemlösning.

Företagsprofil: Veteksemicon har 2 laboratorier, ett team av experter med 20 års erfarenhet av material, med FoU och produktion, testning och verifieringsmöjligheter.

Tekniska parametrar

Min rival fokusring kärnfördelar

1. Exceptionell materialvetenskap, född för tuffa miljöer

Vårt utvalda kiselkarbidmaterial med hög renhet och hög densitet kan lätt motstå det intensiva plasmabombardementet och fluorinnehållande kemisk gaskorrosion under SiC-etsningsprocessen. Dess utmärkta korrosionsbeständighet översätts direkt till en längre livslängd och lägre komponentbytesfrekvens, vilket inte bara minskar utrustningens stilleståndstid utan minskar också avsevärt risken för partikelkontamination orsakad av komponentslitage, vilket ger dig en långsiktig och stabil omfattande kostnadseffektivitet.

2. Exakt teknisk design säkerställer konsekvent process

Varje Veteksemicon fokusring genomgår ultraprecision CNC-bearbetning för att säkerställa att nyckeldimensioner som planhet, innerdiameter och steghöjd uppnår mikronnivånoggrannhet, vilket säkerställer perfekt matchning med originalutrustningstillverkaren (OEM). Vårt ingenjörsteam optimerar profilen ytterligare med hjälp av plasmasimulering. Denna design styr effektivt det elektriska fältet, minskar onormal etsning vid waferns kanter och kontrollerar sålunda etsningslikformigheten för hela wafern till en extrem nivå.

3. Pålitlig prestanda förbättrar produktionseffektiviteten

I krävande massproduktionsmiljöer realiseras det fulla värdet av våra produkter. Genom att säkerställa en koncentrerad och stabil plasmadistribution bidrar Veteksemicons fokusring direkt till förbättrad enhetlighet i etsningshastigheten och optimerad batch-till-batch-processupprepbarhet. Detta innebär att din produktionslinje konsekvent kan leverera produkter med hög avkastning, samtidigt som den drar nytta av längre underhållscykler, vilket effektivt minskar förbrukningskostnaderna per skiva och ger dig en betydande konkurrensfördel.

4. Godkännande för verifiering av ekologisk kedja

Min rival focus ring' ekologiska kedjeverifiering täcker råvaror till produktion, har godkänt internationell standardcertifiering och har ett antal patenterade teknologier för att säkerställa dess tillförlitlighet och hållbarhet inom halvledar- och nya energiområdena.

För detaljerade tekniska specifikationer, vitböcker eller provarrangemang, kontakta vårt tekniska supportteam för att utforska hur Veteksemicon kan förbättra din processeffektivitet.

Min rival produkter butik