Silikonkarbidbeläggning

VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.

Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.

På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.

Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.

Reaktordelar vi kan göra:

Kiselkarbidbeläggning flera unika fördelar:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Egendom	Typiskt värde
Kristallstruktur	FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
SiC-beläggning Densitet	3,21 g/cm³
SiC-beläggningHårdhet	2500 Vickers hårdhet（500g belastning）
kornstorlek	2~10μm
Kemisk renhet	99,99995 %
Värmekapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Böjningsstyrka	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga	300W·m^-1·K^-1
Termisk expansion (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FILM KRISTALSTRUKTUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Kiselkarbidbelagd Epi-susceptor SiC Coating Wafer Carrier SiC-belagd satellitkåpa för MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC beläggning Värmeelement Aixtron Satellite wafer bärare SiC Coating Epi-mottagare SiC beläggning halvmåne grafit delar

View as

CVD Sic Coating Wafer Epi Susceptor

Vetek Semiconductor CVD Sic Coating Wafer Epi Susceptor är en oumbärlig komponent för SIC -epitaxtillväxt, vilket erbjuder överlägsen termisk hantering, kemisk resistens och dimensionell stabilitet. Genom att välja Vetek Semiconductors CVD SIC -beläggningsskiva EPI -susceptor förbättrar du prestandan för dina MOCVD -processer, vilket leder till produkter av högre kvalitet och större effektivitet i din halvledartillverkningsverksamhet. Välkomna dina ytterligare förfrågningar.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

CVD SIC -beläggningsgrafit Susceptor

Vetek Semiconductor CVD Sic Coating Graphite Susceptor är en av de viktiga komponenterna i halvledarindustrin såsom epitaxial tillväxt och skivbehandling. Det används i MOCVD och annan utrustning för att stödja bearbetning och hantering av skivor och andra högprecisionsmaterial. Vetek Semiconductor har Kinas ledande SIC -belagda grafit Susceptor och TAC Coated Graphite Susceptor Production and Manufacturing -kapacitet och ser fram emot ditt samråd.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

CVD SIC -beläggningsvärmeelement

CVD SiC -beläggningsvärmeelement spelar en kärnroll i värmematerial i PVD -ugn (avdunstningsavlagring). Vetek Semiconductor är en ledande CVD SIC -belagd värmeelementstillverkare i Kina. Vi har avancerade CVD -beläggningsfunktioner och kan ge dig anpassade CVD SIC -beläggningsprodukter. Vetek Semiconductor ser fram emot att bli din partner i SIC -belagt uppvärmningselement.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Grafit roterande stöd

Grafit med hög renhet som roterande Susceptor spelar en viktig roll i den epitaxiella tillväxten av galliumnitrid (MOCVD -process). Vetek Semiconductor är en ledande grafitroterande Susceptor -tillverkare och leverantör i Kina. Vi har utvecklat många grafitprodukter med hög renhet baserat på grafitmaterial med hög renhet, som helt uppfyller kraven i halvledarindustrin. Vetek Semiconductor ser fram emot att bli din partner i roterande grafit Susceptor.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Grafitring med hög renhet

Grafitring med hög renhet är lämplig för GaN -epitaxiella tillväxtprocesser. Deras utmärkta stabilitet och överlägsna prestanda har gjort dem allmänt använda. Vetek Semiconductor producerar och tillverkar världsledande grafitring med hög renhet för att hjälpa GaN-epitaxindustrin att fortsätta utvecklas. Veteksemi ser fram emot att bli din partner i Kina.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

CVD SIC Pancake Susceptor

Som en ledande tillverkare och innovatör av CVD SIC Pancake Susceptor -produkter i Kina. Vetek Semiconductor CVD Sic Pancake Susceptor, som en skivformad komponent utformad för halvledarutrustning, är ett viktigt element för att stödja tunna halvledarskivor under hög temperatur epitaxial deposition. Vetek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla högkvalitativa SIC-pannkakesusceptorprodukter och bli din långsiktiga partner i Kina till konkurrenskraftiga priser.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Som professionell Silikonkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att tillgodose de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerad och hållbar Silikonkarbidbeläggning tillverkad i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-post
anny@veteksemi.com
Adress
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang -provinsen, Kina

Webbmeny

Produktsökning

Språk

Avsluta menyn

Silikonkarbidbeläggning

Reaktordelar vi kan göra:

Kiselkarbidbeläggning flera unika fördelar:

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

CVD SIC FILM KRISTALSTRUKTUR

CVD Sic Coating Wafer Epi Susceptor

CVD SIC -beläggningsgrafit Susceptor

CVD SIC -beläggningsvärmeelement

Grafit roterande stöd

Grafitring med hög renhet

CVD SIC Pancake Susceptor

Skicka förfrågan

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon

Fax

E-post

Adress