Sic ICP -etsningsplatta

ICP-etsning (induktiv kopplad plasmaetningsteknik) är en precisionsetningsprocess i halvledartillverkning, vanligtvis används för högprecision och högkvalitativ mönsteröverföring, särskilt lämplig för etsning av djuphål, mikromönster, etc.

SemikonSIC ICP-etsningsplatta är speciellt utformad för ICP-process med hjälp av SIC-material av hög kvalitet och kan ge utmärkt prestanda i hög temperatur, starka frätande och höga energimiljöer. Som en nyckelkomponent för lager och stöd,ICP -etsPlattan säkerställer stabilitet och effektivitet under etsningsprocessen.

Sic ICP -etsningsplattaProduktfunktioner

● Hög temperaturtolerans

SIC ICP -etsningsplatta tål temperaturförändringar upp till 1600 ° C, vilket säkerställer stabil användning i ICP -etsningsmiljö vid hög temperatur och undviker deformation eller prestanda nedbrytning orsakad av temperaturfluktuationer.

●  Utmärkt korrosionsmotstånd

Kiselkarbidmaterialkan effektivt motstå mycket frätande kemikalier såsom vätefluorid, väteklorid, svavelsyra, etc. som kan utsättas under etsning, vilket säkerställer att produkten inte skadas under långvarig användning.

●  Låg värmeutvidgningskoefficient

Sic ICP -etsningsplatta har en låg värmeutvidgningskoefficient, som kan upprätthålla god dimensionell stabilitet i hög temperaturmiljö, minska stress och deformation orsakad av temperaturförändringar och säkerställa korrekt etsningsprocess.

●  Hög hårdhet och slitmotstånd

SIC har en hårdhet på upp till 9 Mohs hårdhet, vilket effektivt kan förhindra mekaniskt slitage som kan uppstå under etsningsprocessen, förlänga livslängden och minska ersättningsfrekvensen.

● Excellent värmeledningsförmåga

Utmärkt värmeledningsförmåga säkerställer attSic -brickakan snabbt spridas värme under etsningsprocessen, vilket undviker lokala temperaturökningar orsakade av värmansamling och därmed säkerställer stabiliteten och enhetligheten i etsningsprocessen.

Med stöd av ett starkt tekniskt team har Veteksemicon SIC ICP Etsing Tray genomfört olika svåra projekt och tillhandahåller anpassade produkter efter dina behov. Vi ser fram emot din förfrågan.

Grundläggande fysiska egenskaper hos CVD SIC: