Sic belagd djup UV LED -susceptor

Sic -belagd djup UV LED -susceptor är den kärnbärande komponenten iMOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) utrustning. Susceptorn påverkar direkt enhetlighet, tjocklekskontroll och materialkvalitet på djup UV -LED -epitaxiell tillväxt, särskilt i tillväxten av aluminiumnitrid (ALN) epitaxialt skikt med högt aluminiuminnehåll, är SUSCECTOR: s design och prestanda avgörande.

SIC -belagda djupa UV -LED -susceptor är speciellt optimerad för djup UV -LED -epitaxi och är exakt utformad baserat på termiska, mekaniska och kemiska miljöegenskaper för att uppfylla stränga processkrav.

Vetek Semiconductor använder avancerad bearbetningsteknologi för att säkerställa enhetlig värmefördelning av SUSCECTOR inom driftstemperaturområdet, vilket undviker ojämn tillväxt av det epitaxiella skiktet orsakat av temperaturgradient. Precisionsbearbetning kontrollerar ytråhet, minimerar partikelföroreningar och förbättrar värmeledningseffektiviteten för skivytans kontakt.

Vetek Semiconductor använder SGL -grafit som material, och ytan behandlas medCVD SIC -beläggning, som tål NH3, HCL och hög temperaturatmosfär under lång tid. Vetek Semiconductors SIC -belagda djupa UV -LED -susceptor matchar den termiska expansionskoefficienten för ALN/GaN -epitaxiala wafers, vilket minskar skivvridning eller sprickor orsakade av termisk stress under processen.

Det viktigaste är att Vetek Semiconductors SIC -belagda djupa UV -LED -Susceptor perfekt anpassar sig till mainstream MOCVD -utrustning (inklusive Veeco K465I, EPIK 700, Aixtron Crius, etc.). Stöder anpassade tjänster för skivstorlek (2 ~ 8 tum), skivspelning, processtemperatur och andra krav.

Applikationsscenarier:

● Djup UV -LED -förberedelse: Tillämplig på den epitaxiala processen för enheter i bandet under 260 nm (UV-C-desinfektion, sterilisering och andra fält).

● Nitridhalvledare Epitaxy: Används för epitaxiell beredning av halvledarmaterial såsom galliumnitrid (GaN) och aluminiumnitrid (ALN).

● Epitaxialexperiment på forskningsnivå: Djup UV -epitaxi och nya materialutvecklingsexperiment på universitet och forskningsinstitutioner.

Med stöd av ett starkt tekniskt team kan Vetek Semiconductor utveckla susceptorer med unika specifikationer och funktioner enligt kundens behov, stödja specifika produktionsprocesser och tillhandahålla långsiktiga tjänster.

SEM -data från CVD SIC -beläggningsfilm:

Grundläggande fysiska egenskaper hos CVD SIC -beläggning:

Det halvledareSIC -belagd djup UV LED -SUSCECTOR -produktbutiker: