Produkter
Så beläggning av stödet
  • Så beläggning av stödetSå beläggning av stödet

Så beläggning av stödet

Vetek Semiconductor fokuserar på forskning och utveckling och industrialisering av CVD SIC -beläggning och CVD TAC -beläggning. Med SIC -beläggningssusceptor som ett exempel är produkten starkt bearbetad med hög precision, tät CVD SiC -beläggning, hög temperaturmotstånd och stark korrosionsbeständighet. Din förfrågan om oss är välkommen.

Du kan vara säker på att köpa SIC -beläggningssusceptor från vår fabrik. Som CVD SIC -beläggningstillverkare vill Vetek Semiconductor ge dig SIC -beläggningssusceptorer som är gjord av grafit med hög renhet och SIC -beläggning (under 5ppm). Välkommen för att undersöka USA.


På Vetek Semiconductor är vi specialiserade på teknikforskning, utveckling och tillverkning och erbjuder en rad avancerade produkter för branschen. Vår huvudproduktlinje inkluderar CVD SIC -beläggning+grafit med hög renhet, SIC -belagd susceptor, halvledarkvarts, CVD TAC -beläggning+grafit med hög renhet, styv filt och andra material.

En av våra flaggskeppsprodukter är SIC -beläggningssusceptor, utvecklad med innovativ teknik för att uppfylla de stränga kraven i epitaxial skivproduktion. Epitaxiala skivor måste uppvisa tät våglängdsfördelning och låga ytdefektnivåer, vilket gör vår SIC -beläggningssusceptor till en väsentlig komponent för att uppnå dessa avgörande parametrar.

Fördelar med vår SIC -beläggning Susceptor:


✔ Basmaterialskydd: CVD SIC -beläggningen fungerar som ett skyddande skikt under den epitaxiala processen, vilket effektivt skyddar basmaterialet från erosion och skador orsakade av den yttre miljön. Denna skyddande åtgärd utvidgar utrustningens livslängd.

✔ Utmärkt värmeledningsförmåga: Vår CVD -SIC -beläggning har enastående värmeledningsförmåga och överför effektivt värme från basmaterialet till beläggningsytan. Detta förbättrar termisk hanteringseffektivitet under epitaxi, vilket säkerställer optimala driftstemperaturer för utrustningen.

✔ Förbättrad filmkvalitet: CVD SIC -beläggningen ger en platt och enhetlig yta, vilket skapar en idealisk grund för filmtillväxt. Det minskar defekter som härrör från gittermatchning, förbättrar kristalliniteten och kvaliteten på den epitaxiella filmen och förbättrar i slutändan dess prestanda och tillförlitlighet.


Välj Vetek Semiconductor Sic Coating Susceptor för dina Epitaxial Wafer -produktionsbehov och dra nytta av förbättrad skydd, överlägsen värmeledningsförmåga och förbättrad filmkvalitet. Förtroende för Vetek Semiconductors innovativa lösningar för att driva din framgång i halvledarindustrin.

Grundläggande fysiska egenskaper hos CVD SIC -beläggning:

Grundläggande fysiska egenskaper hos CVD SIC -beläggning
Egendom Typiskt värde
Kristallstruktur FCC ß -faspolykristallin, främst (111) orienterad
CVD SIC -densitet 3,21 g/cm³
CVD SIC -beläggning hårdhet 2500 Vickers hårdhet (500 g belastning)
Kornstorlek 2 ~ 10mm
Kemisk renhet 99.99995%
Värmekapacitet 640 J · kg-1· K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Böjhållfasthet 415 MPA RT 4-punkt
Youngs modul 430 GPA 4PT BEND, 1300 ℃
Termisk konduktivitet 300W · m-1· K-1
Termisk expansion (CTE) 4,5 × 10-6K-1

Veteksemi sic Coating Susceptor Production Shops:

SiC Coating Susceptor Production shops

Hot Tags: Så beläggning av stödet
Skicka förfrågan
Kontaktinformation
För frågor om kiselkarbidbeläggning, tantalkarbidbeläggning, specialgrafit eller prislista, vänligen lämna din e-post till oss så hör vi av oss inom 24 timmar.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept