MOCVD Epitaxial Susceptor för 4 "skivor är utformad för att odla 4" epitaxial skikt.vetek halvledare är en professionell tillverkare och leverantör, som är dedikerad till att tillhandahålla högkvalitativ MOCVD-epitaxial susceptor för 4 "skivor med skräddarsytt grafitmaterial och sicbeläggningsprocess. Vi kan leverera expert och effektiva lösningar till våra kunder. Du är välkomna att kommunicera med oss.
VeTek Semiconductor är en professionell ledare för Kina MOCVD Epitaxial Susceptor för 4" wafer tillverkare med hög kvalitet och rimligt pris. Välkommen att kontakta oss. MOCVD Epitaxial Susceptor för 4" wafer är en kritisk komponent i metall-organisk kemisk ångdeposition (MOCVD) process, som används allmänt för tillväxt av högkvalitativa epitaxiella tunna filmer, inklusive galliumnitrid (GaN), aluminiumnitrid (AlN) och kiselkarbid (SiC). Susceptorn fungerar som en plattform för att hålla substratet under den epitaxiella tillväxtprocessen och spelar en avgörande roll för att säkerställa enhetlig temperaturfördelning, effektiv värmeöverföring och optimala tillväxtförhållanden.
MOCVD Epitaxial Susceptor för 4" wafer är vanligtvis gjord av högren grafit, kiselkarbid eller andra material med utmärkt värmeledningsförmåga, kemisk tröghet och motståndskraft mot termisk chock.
Applikationer:
MOCVD -epitaxiala susceptorer hittar applikationer i olika branscher, inklusive:
Power Electronics: Tillväxt av GaN-baserade högelektronmobilitetstransistorer (HEMT) för högeffekt och högfrekventa applikationer.
Optoelektronik: Tillväxt av GaN-baserade ljusemitterande dioder (LED) och laserdioder för effektiv belysning och visningsteknik.
Sensorer: Tillväxt av ALN-baserade piezoelektriska sensorer för tryck, temperatur och akustisk vågdetektering.
Högtemperaturelektronik: Tillväxt av SIC-baserade kraftanordningar för högtemperatur och högeffekt.
Produktparameter för MOCVD Epitaxial Susceptor för 4" Wafer
Fysikaliska egenskaper hos isostatisk grafit
Egendom
Enhet
Typiskt värde
Bulktäthet
g/cm³
1.83
Hårdhet
HSD
58
Elektrisk resistivitet
μω.m
10
Böjningsstyrka
MPA
47
Kompressionsstyrka
MPA
103
Draghållfasthet
MPA
31
Youngs modul
Gpa
11.8
Termisk expansion (CTE)
10-6K-1
4.6
Termisk konduktivitet
W · m-1· K-1
130
Genomsnittlig kornstorlek
μm
8-10
Porositet
%
10
Askinnehåll
ppm
≤10 (efter renad)
Obs: Innan beläggningen kommer vi att göra första rening, efter beläggningen, kommer att göra andra rening.
Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Egendom
Typiskt värde
Kristallstruktur
FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Vi använder cookies för att ge dig en bättre webbupplevelse, analysera webbplatstrafik och anpassa innehåll. Genom att använda denna sida godkänner du vår användning av cookies. Sekretesspolicy