Produkter
SIC -belagd ICP -etsningsbärare
  • SIC -belagd ICP -etsningsbärareSIC -belagd ICP -etsningsbärare

SIC -belagd ICP -etsningsbärare

Vetekemicon SIC -belagda ICP -etsningsbärare är utformad för de mest krävande applikationerna för epitaxutrustning. Vår SIC-belagda ICP-etsningsbärare har en mycket plan yta och utmärkt korrosionsbeständighet för att motstå de hårda förhållandena under hanteringen under hanteringen av högkvalitativt ultralat-grafitmaterial. Den höga värmeledningsförmågan hos den SIC -belagda bäraren säkerställer även värmefördelning för utmärkta etsningsresultat.

Med många års erfarenhet av produktion av SIC -belagd ICP -etsningsbärare kan Vetek Semiconductor leverera ett brett utbud avSIC -belagdellerTAC belagdReservdelar för halvledarindustrin. Förutom produktlistan nedan kan du också anpassa dina egna unika SIC -belagda eller TAC -belagda delar enligt dina specifika behov.


Vetek Semiconductors SIC -belagda ICP -etsningsbärare, även känd som ICP -transportörer, PSS -transportörer, RTP -transportörer eller RTP -transportörer, är viktiga komponenter som används i en mängd olika applikationer inom halvledarindustrin. Kiselkarbidbelagd grafit är det primära materialet som används för att tillverka dessa nuvarande bärare. Den har hög värmeledningsförmåga, mer än tio gånger den värmeledningsförmågan hos safirsubstrat. Den här egenskapen, i kombination med dess höga rullar elektriska fältstyrka och maximal strömtäthet, har lett till utforskningen av kiselkarbid som en potentiell ersättning för kisel i en mängd olika applikationer, särskilt i halvledarens högeffektkomponenter. SIC -strömbärare plattor har hög värmeledningsförmåga, vilket gör dem idealiska förLED -tillverkningsprocesser. 


De säkerställer effektiv värmeavledning och ger utmärkt elektrisk konduktivitet och bidrar till produktionen av lysdioder med hög effekt. Dessutom har dessa bärarplattor utmärktaplasmotätningoch lång livslängd, säkerställa tillförlitlig prestanda och liv i den krävande halvledarproduktionsmiljön.


Vetekemicon har inrättat långsiktiga kooperativa relationer med många halvledartillverkare. Vi ser också fram emot att bygga ett långsiktigt partnerskap med dig.


Produktparameter för SIC -belagd ICP -etsningsbärare:

Grundläggande fysiska egenskaper hosCVD SIC -beläggning
Egendom Typiskt värde
Kristallstruktur FCC ß -faspolykristallin, främst (111) orienterad
Densitet 3,21 g/cm³
Hårdhet 2500 Vickers hårdhet (500 g belastning)
Kornstorlek 2 ~ 10mm
Kemisk renhet 99.99995%
Värmekapacitet 640 J · kg-1· K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Böjhållfasthet 415 MPA RT 4-punkt
Youngs modul 430 GPA 4PT BEND, 1300 ℃
Termisk konduktivitet 300W · m-1· K-1
Termisk expansion (CTE) 4,5 × 10-6K-1


Det halvledareSIC -belagd ICP -etsningsbärareProduktionsbutik

VeTek Semiconductor SiC Coated ICP Etching Carrier Production Shop


Översikt över Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: SIC -belagd ICP -etsningsbärare
Skicka förfrågan
Kontaktinformation
För frågor om kiselkarbidbeläggning, tantalkarbidbeläggning, specialgrafit eller prislista, vänligen lämna din e-post till oss så hör vi av oss inom 24 timmar.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept