Produkter
Aluminiumnitrid (AlN) wafers
  • Aluminiumnitrid (AlN) wafersAluminiumnitrid (AlN) wafers

Aluminiumnitrid (AlN) wafers

VeTek Semiconductor levererar högkvalitativa aluminiumnitrid (AlN) enkristallskivor och substrat för nästa generations halvledarenheter med ultrabredt bandgap. Med ett ultrabrett bandgap på cirka 6,2 eV, enastående värmeledningsförmåga, exceptionell elektrisk isolering och utmärkt gitter- och värmeexpansionsmatchning med GaN, är AlN-skivor idealiska för högeffekts RF-enheter, högspänningskraftelektronik och djup-ultraviolett (DUV) optoelektronik.


1. Nyckelfunktioner och fördelar

• Ultrabrett bandgap ≈ 6,2 eV — högst bland vanliga halvledarmaterial

• Hög värmeledningsförmåga ≈ 320 W/m·K för effektiv värmeavledning

• Utmärkt elektrisk isolering (>10¹³ Ω·cm) och högt genombrottsfält (12–15 MV/cm)

• Bra gitter- och termisk expansionsmatchning med GaN — perfekt för GaN-på-AlN-heterostrukturer

• Alternativ för låg dislokationstäthet med snäv HR-XRD gungkurvkontroll

• Al-face CMP (Ra ≤ 0,5 nm) och N-face MP för epi-färdiga ytor

• Flera storlekar och kvalitetsklasser (P / R / D) för att matcha produktions- och forskningskrav

2. Typiska tillämpningar

• Högeffekts RF-enheter för radar- och 6G-kommunikation

• Högspänningskraftelektronik för elnät, datacenter och elfordon

• Djup-ultravioletta (UVC) lysdioder och laserdioder

• GaN-on-AlN epitaxiell tillväxt och avancerade heterostrukturenheter

• Halvledarkomponenter med hög temperatur, hög frekvens och tuff miljö

3. Tillgängliga storlekar och kvalitetsklasser

VeTek erbjuder AlN wafers i följande standardformat. Anpassade storlekar och specifikationer kan diskuteras på begäran.

• 10 × 10 mm kvadratiska underlag

• 1-tums (25,4 mm) wafers

• 2-tums (50,8 mm) wafers

Kvalitetsgrader: P-grade (Produkt), R-grade (Forskning), D-grade (Experimentell), differentierade främst av HR-XRD rocking-curve FWHM och övergripande kristallkvalitet.

4. Viktiga tekniska specifikationer

Vanliga parametrar för olika storlekar (typiska värden; gradberoende där det anges):

Parameter

P-klass

R-klass

D-klass

Orientering

(0001) ± 0,5°

Tjocklek

450 μm ± 25 μm

HR-XRD FWHM (002)

≤ 100 bågsekunder

≤ 200 bågsekunder

≤ 300 bågsekunder

HR-XRD FWHM (102)

≤ 80 bågsekunder

≤ 150 bågsekunder

≤ 250 bågsekunder

Ytpolering

Al-face CMP, N-face MP

Ytjämnhet Ra

Al < 0,5 nm; N ≤ 1,2 μm

Repor/flissning (blotta ögat)

Ingen

Kantexkludering

1 mm

Förpackning

En-wafer box

Storleksspecifika geometriska toleranser:

• 10×10 mm: Sidolängd 10 mm ± 0,5 mm; TTV ≤ 15 μm; Bow ≤ 15 μm

• 1-tum: Diameter 25,4 mm ± 0,5 mm; Användbar yta ≥ 90 %; TTV ≤ 20 μm; Båge ≤ 20 μm; Primär platt (10-10) ± 5°, längd 8 mm ± 1 mm

• 2-tum: Diameter 50,8 mm ± 0,5 mm; Användbar yta ≥ 90 %; TTV ≤ 30 μm; Båge ≤ 30 μm; Primär plan längd 16 mm ± 2 mm

5. Varför välja VeTek AlN Wafers?

Som en specialiserad leverantör av avancerade halvledarmaterial och komponenter tillhandahåller VeTek Semiconductor:

• Högkvalitativa AlN enkristallwafers med kontrollerad kristallkvalitet och epi-färdiga ytor

• Flera storlekar och klassalternativ för att stödja både enhetsproduktion och forskningsprogram

• Kompletterande wafer- och substratlösningar under VeTek-portföljen av halvledarmaterial

• Teknisk support för materialval och processmatchning

Våra AlN-skivor hjälper kunder att påskynda utvecklingen av högeffekts RF, högspänningskraft och djup-UV optoelektroniska enheter som kräver den unika kombinationen av ultrabredt bandgap, hög värmeledningsförmåga och GaN-kompatibilitet som erbjuds av aluminiumnitrid.


Skicka förfrågan
Kontaktinformation
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Vi använder cookies för att ge dig en bättre webbupplevelse, analysera webbplatstrafik och anpassa innehåll. Genom att använda denna sida godkänner du vår användning av cookies. Sekretesspolicy
AvvisaAcceptera