Produkter
Aixtron G5+ takkomponent
  • Aixtron G5+ takkomponentAixtron G5+ takkomponent

Aixtron G5+ takkomponent

Vetek Semiconductor har blivit en leverantör av förbrukningsvaror för många MOCVD -utrustning med sin överlägsna bearbetningsfunktioner. Aixtron G5+ takkomponent är en av våra senaste produkter, som är nästan densamma som den ursprungliga Aixtron -komponenten och har fått bra feedback från kunderna. Om du behöver sådana produkter, vänligen kontakta Vetek Semiconductor!

Galliumnitrid (GaN) är ett brett bandgap halvledarmaterial med utmärkta fysiska egenskaper såsom hög elektronmobilitet, hög nedbrytning av elektriskt fält och hög mättnadselektronhastighet. Det används ofta i optoelektroniska enheter (såsom ljusemitterande dioder, laserdioder) och högfrekventa elektroniska enheter med hög kraft (såsom kraftförstärkare). Silicon (SI) är ett vanligt använt halvledarsubstratmaterial med fördelarna med låg kostnad, stor storlek och kompatibilitet med befintliga kiselbaserade integrerade kretsprocesser. Därför är växande GaN -epitaxiala lager på SI ett mycket värdefullt forskningsämne. AIXTRON G5+ -serien är en av de hetaste Si-baserade GAN-epitaxiella tillväxtutrustningen för närvarande, som har många viktiga komponenter, och takkomponenten är en av de viktiga komponenterna.


Aixtron G5+ ceiling working diagram

Aixtron G5+ takkomponenten är tillverkad av SGL -grafit. Huvudfunktionen är att styra temperaturen och säkerställa det lägsta värmeflödet genom skivan.


 Kontroll av temperaturens enhetlighet: 

Aixtron G5+ takkomponenten hjälper till att uppnå enhetlig temperaturfördelning under reaktionskammaren. I halvledarens epitaxial tillväxtprocess är temperaturens enhetlighet avgörande för växande epitaxiella skikt av hög kvalitet. Det säkerställer att samma yttemperatur kan erhållas på alla skivor eller satellitkomponenter och därmed säkerställa konsistensen av tillväxttakten och kvaliteten på det epitaxiella materialet på alla platser och därmed förbättra processutbytet.


 Optimera tillväxtmiljön: 

Som en del av reaktionskammaren bildar Aixtron G5+ takkomponenten en stabil tillväxtmiljö tillsammans med andra komponenter. Det kan minska värmeförlusten och göra temperaturen i reaktionskammaren mer stabil, vilket är gynnsamt för att noggrant kontrollera förhållandena för epitaxiell tillväxt och minska epitaxiala skiktdefekter och prestanda som inte är enhetlighet orsakade av temperaturfluktuationer.


Aixtron G5+ takkomponent är en av mainstream -produkterna i branschen som lanserades av Vetek Semiconductor. Att välja Vetek Semiconductor innebär att samarbeta med ett företag som har åtagit sig att driva gränserna för kiselkarbidbeläggningsinnovation. Med en stark betoning på kvalitet, prestanda och kundtillfredsställelse levererar vi produkter som inte bara uppfyller utan överskrider de stränga kraven från halvledarindustrin. Låt oss hjälpa dig att uppnå större effektivitet, tillförlitlighet och framgång i din verksamhet med våra avancerade Aixtron G5+ takkomponentlösningar.

Materialdata för SGL 6510 grafit:

Typiska egenskaper
Enheter
Teststandarder
Värderingar
Genomsnittlig kornstorlek
μm
ISO 13320
10
Bulktäthet
g/cm3
Från IEC 60413/204
1.83
Öppen porositet
Vol.%
Från 66133
10
Medium poringång diameter
μm
Från 66133
1.8
Permeabilitetskoefficient (omgivningstemperatur)
cm2/s
Från 51935
0.06
Rockwell Hardness HR5/100
\ Från IEC 60413/303
90
Resistivitet
μωm
Från IEC 60413/402
13
Böjhållfasthet
MPA
Från IEC 60413/501
60
Tryckstyrka
MPA
Från 51910
130
Dynamisk elastisk modul
MPA
Från 51915
11,5 x 103
Termisk expansion (20-200 ℃)
K-1
Från 51909
4.2x10-6
Termisk konduktivitet (20 ℃)
Wm-1K-1
Från 51908
105
Askinnehåll
ppm
Från 51903
\

Det halvledareAIXTRON G5+ Takkomponentprodukter Butiker

Semiconductor process equipmentSiC Coating Wafer CarrierCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment


Hot Tags: Aixtron G5+ takkomponent
Skicka förfrågan
Kontaktinformation
För frågor om kiselkarbidbeläggning, tantalkarbidbeläggning, specialgrafit eller prislista, vänligen lämna din e-post till oss så hör vi av oss inom 24 timmar.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept