Kiselkarbidpitaxi -skivbärare

Som den professionella tillverkaren vill vi ge dig högkvalitativ kiselkarbidpitaxi -skivbärare. Vetek Semiconductor Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carriers är specifikt utformade för SiC -epitaxialkammaren. De har ett brett utbud av applikationer och är kompatibla med olika utrustningsmodeller.

Applikationsscenario:

EGENK Semiconductor Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carriers används främst i tillväxtprocessen för SiC -epitaxiella lager. Dessa tillbehör placeras inuti SIC -epitaxreaktorn, där de kommer i direktkontakt med SIC -underlag. De kritiska parametrarna för epitaxialskikt är tjocklek och dopingkoncentrationens enhetlighet. Därför bedömer vi prestandan och kompatibiliteten hos våra tillbehör genom att observera data som filmtjocklek, bärarkoncentration, enhetlighet och ytråhet.

Användande:

Beroende på utrustning och process kan våra produkter uppnå minst 5000 um epitaxial skikttjocklek i en 6-tums halvmånekonfiguration. Detta värde fungerar som en referens, och faktiska resultat kan variera.

Kompatibla utrustningsmodeller:

Vetek halvledare kiselkarbidbelagda grafitdelar är kompatibla med olika utrustningsmodeller, inklusive LPE, Naura, JSG, CETC, NASO Tech och andra.

Grundläggande fysiska egenskaper hosCVD SIC -beläggning:

Jämför Semiconductor Production Shop ：

Översikt över Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: