Aixtron G10 Solid SiC planetariska reaktorkomponenter

1. Nyckelfunktioner och fördelar

• Helt tät, bindemedelsfri Solid SiC-struktur för överlägsen slitage- och korrosionsbeständighet

• Utmärkt värmeledningsförmåga och värmechockbeständighet vid temperaturer över 1500 °C

• Ultralåg partikelalstring och hög renhet, minimerar risken för kontaminering

• Enastående kemisk tröghet mot processgaser som används i SiC-epitaxi

• Lång livslängd vid upprepad cykling i hög temperatur

• Precisionsbearbetad till snäva dimensionstoleranser för pålitlig passform och processstabilitet

 2. Typiska tillämpningar

Dessa Solid SiC-tillbehör används i nyckelfunktionsområden i Aixtron G10-reaktorn, inklusive:

• Täckplåtar och utvalda täckelement

• Skyddsringar och slitstarka komponenter

• Precisionsstift, brickor och små konstruktionsdelar

• Andra specialanpassade skär med hög renhet som utsätts för intensivt gasflöde eller termisk belastning

De stöder stabil temperaturfördelning, enhetlig gastillförsel och låg defektdensitet under epitaxiell tillväxt av SiC med hög volym för kraft-MOSFET, dioder och relaterade enheter med stort bandgap.

3. Varför välja VeTek Solid SiC för Aixtron G10?

Som en specialiserad tillverkare av material av halvledarkvalitet tillhandahåller VeTek Semiconductor:

• Högrena Solid SiC-komponenter skräddarsydda för Aixtron G10-system, till exempel: Täckring，Inre/yttre kåpor，neddragande/stödplatta，Satelitskiva，susceptor

• Strikt renhetskontroll och precision CNC-bearbetning

• Kompletterande lösningar inklusive CVD SiC-belagd grafit och TaC-belagda delar för fullständig täckning av termiskt fält

• Anpassade konstruktioner anpassade till specifika processförhållanden och reaktorkonfigurationer

Våra Solid SiC-tillbehör hjälper kunderna att maximera produktivitetsfördelarna med Aixtron G10-plattformen – hög waferproduktion, utmärkt tjocklek och dopningslikformighet och konkurrenskraftiga ägandekostnader – samtidigt som de förlänger komponenternas livslängd och minskar partikelrelaterad avkastningsförlust.