SiC Coated Graphite Barrel Susceptor för EPI

✔ Minskad förorening: Sics inerta natur förhindrar föroreningar från att hålla sig till susceptorytan, vilket minskar risken för kontaminering av de deponerade filmerna.

✔ Ökad erosionsbeständighet: SiC är betydligt mer motståndskraftig mot erosion än konventionell grafit, vilket leder till en längre livslängd för susceptorn.

✔ Förbättrad termisk stabilitet: SIC har utmärkt värmeledningsförmåga och tål höga temperaturer utan betydande snedvridning.

✔ Förbättrad filmkvalitet: Den förbättrade termiska stabiliteten och minskade kontamineringen resulterar i avsatta filmer av högre kvalitet med förbättrad enhetlighet och tjocklekskontroll.

✔ GaN-baserade lysdioder

✔ Power Electronics

✔ Optoelektroniska enheter

✔ Högfrekventa transistorer

✔ Sensorer

Produktparameter för SIC -belagd grafitfat susceptor

        Obs: Före beläggning kommer vi att göra första reningen, efter beläggning kommer vi att göra andra rening.

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning