Produkter
SiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6'' wafers
  • SiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6'' wafersSiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6'' wafers
  • SiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6'' wafersSiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6'' wafers

SiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6'' wafers

SiC Coated Pancake Susceptor för LPE PE3061S 6'' wafers är en av kärnkomponenterna som används i 6'' wafers epitaxial wafer bearbetning. VeTek Semiconductor är för närvarande en ledande tillverkare och leverantör av SiC Coated Pancake Susceptor för LPE PE3061S 6'' wafers i Kina. Den SiC-belagda pannkakssusceptorn som den tillhandahåller har utmärkta egenskaper som hög korrosionsbeständighet, god värmeledningsförmåga och god enhetlighet. Ser fram emot din förfrågan.

Som den professionella tillverkaren vill VeTek Semiconductor ge dig högkvalitativ SiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6'' wafers.

Vetek Semiconductor Sic Coated Pancake Susceptor för LPE PE3061S 6 "Wafers är en kritisk utrustning som används i tillverkningsprocesser för halvledar.


SIC -belagd pannkakesceptor för LPE PE3061S 6 "Wafers Produktfunktioner:

Högtemperaturstabilitet: SiC uppvisar utmärkt högtemperaturstabilitet och bibehåller sin struktur och prestanda i högtemperaturmiljöer.

Enastående värmeledningsförmåga: SIC har exceptionell värmeledningsförmåga, vilket möjliggör snabb och enhetlig värmeöverföring för snabb och till och med uppvärmning.

Korrosionsbeständighet: SIC har utmärkt kemisk stabilitet, motstånd mot korrosion och oxidation i olika uppvärmningsmiljöer.

Uniform uppvärmningsfördelning: SIC-belagd skivbärare ger enhetlig uppvärmningsfördelning, vilket säkerställer jämn temperatur över ytan på skivan under uppvärmningen.

Lämplig för halvledarproduktion: SI Epitaxy Wafer Carrier används allmänt i tillverkningsprocesser för halvledar, särskilt för SI-epitaxtillväxt och andra högtemperaturuppvärmningsprocesser.


Produktfördelar:

Förbättrad produktionseffektivitet: SiC-belagd pannkakssusceptor möjliggör snabb och enhetlig uppvärmning, minskar uppvärmningstiden och förbättrar produktionseffektiviteten.

Säker produktkvalitet: enhetlig uppvärmningsfördelning säkerställer konsistens under skivbehandling, vilket leder till förbättrad produktkvalitet.

Livsledningen för utökad utrustning: SIC -material erbjuder utmärkt värmebeständighet och kemisk stabilitet, vilket bidrar till en längre livslängd för pannkakasusceptorn.

Skräddarsydda lösningar: SiC-belagd susceptor, Si-epitaxi-waferbärare kan skräddarsys till olika storlekar och specifikationer baserat på kundens krav.


cvd-sic-coating-film-crystal-structure


Grundläggande fysiska egenskaper hos CVD SIC -beläggning:

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Egendom Typiskt värde
Kristallstruktur FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
Densitet 3,21 g/cm³
Hårdhet 2500 Vickers hårdhet (500 g belastning)
Kornstorlek 2 ~ 10mm
Kemisk renhet 99,99995 %
Värmekapacitet 640 J·kg-1· K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Böjningsstyrka 415 MPA RT 4-punkt
Youngs modul 430 GPA 4PT BEND, 1300 ℃
Värmeledningsförmåga 300W · m-1· K-1
Termisk expansion (CTE) 4,5 × 10-6K-1


Återförsäljare

VeTek Semiconductor Production Shop


Översikt över halvledarchipets epitaxiindustrikedja:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: SiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6'' wafers
Skicka förfrågan
Kontaktinformation
För frågor om kiselkarbidbeläggning, tantalkarbidbeläggning, specialgrafit eller prislista, vänligen lämna din e-post till oss så hör vi av oss inom 24 timmar.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept