Vertikal ugn Sic -belagd ring

I vertikala ugnar är användningen av SiC-belagda ringar en vanlig lösning som främst används i högtemperaturvärmebehandlingsprocesser avhalvledarskivor. Vertikala ugnsiska belagda ringar är högpresterande, högtemperaturresistenta komponenter som används för att stödja eller skydda skivor för att säkerställa processens stabilitet och tillförlitlighet.

Funktionerna för vertikal ugn Sic -belagd ring

● Funktioner

Stödroll. Används för att stödja wafers för att säkerställa deras stabilitet och exakta placering i högtemperaturugnar.

●  Korrosionsskydd

Förhindra frätande gaser eller kemikalier från att korrodera basmaterialet.

●  Minska föroreningar

SiC-beläggning med hög renhet kan effektivt förhindra partikelavfall och föroreningar för att säkerställa processrenhet.

●  Hög temperaturbeständighet

Bibehåll utmärkta mekaniska egenskaper och dimensionsstabilitet i högtemperaturmiljöer (vanligtvis över 1000°C).

Funktionerna i vertikal ugn Sic -belagd ring

●  Hög hårdhet och styrka

SiC-material har utmärkt mekanisk hållfasthet och tål höga temperaturpåkänningar i ugnen.

●  Bra termisk stabilitet

SIC: s höga värmeledningsförmåga och låga termiska expansionskoefficient hjälper till att minska termisk stress.

●  Stark kemisk stabilitet

SiC-beläggningar kan motstå korrosion i oxiderande, sura eller alkaliska miljöer.

●  Låg partikelförorening

Den släta ytan minskar möjligheten till partikelgenerering, vilket är särskilt lämpligt för den ultrarena miljön vid halvledartillverkning.

Används för diffusion, oxidation, glödgning och andra processer i vertikala ugnar för att stödja kiselskivor och förhindra partikelföroreningar under värmebehandling.

Tillverkningsmaterial och processer

● Substrat: Tillverkad av högkvalitativ SGL-grafit är kvaliteten garanterad.

● Beläggning: Kiselkarbidbeläggning appliceras på grafitytan med kemisk ångavsättning (CVD).

●  Beläggningstjockleken är vanligtvis mellan 50~500μm, vilket justeras enligt användningskraven.

● Den kemiska ångavsättningen SIC -beläggning har högre renhet och densitet och bättre hållbarhet.

Välj lämpligtSiC-beläggningring enligt diametern på kiselskivan i ugnen och bärarens specifikationer. Vi kan anpassa det åt dig. Hög renhet, tät beläggning är mer hållbar och mindre förorenande. Byt ut i enlighet med frekvensen av användning och processkrav för att undvika föroreningar eller stödfel på grund av åldrande beläggning.

Som en professionell vertikal ugn SIC -belagd ringleverantör och tillverkare i Kina har Vetek Semiconductor länge varit engagerad i att tillhandahålla avancerad vertikal ugnsteknik och produktlösningar för halvledarindustrin. Vi ser uppriktigt fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

CVD SIC FILM KRISTALSTRUKTUR

Grundläggande fysiska egenskaper hos CVD SIC -beläggning

VeTek SemiconductorVertikal ugn Sic -belagda ringbutiker: