Produkter

Fast kiselkarbid

Vetek Semiconductor Solid Silicon Carbide är en viktig keramisk komponent i plasmaetsa utrustning, fast kiselkarbid (CVD -kiselkarbid) Delar i etsningsutrustningen inkluderarFokuseringsringar, gasduschhuvud, bricka, kantringar, etc. På grund av den låga reaktiviteten och konduktiviteten hos massivt kiselkarbid (CVD -kiselkarbid) till klor - och fluorinnehållande etsningsgaser är det ett idealiskt material för fokuseringsringar av plasma -etsningsutrustning och andra komponenter.


Till exempel är fokusringen en viktig del placerad utanför skivan och i direktkontakt med skivan, genom att applicera en spänning på ringen för att fokusera plasma som passerar genom ringen och därmed fokusera plasma på skivan för att förbättra enhetens enhetlighet. Den traditionella fokusringen är gjord av kisel ellerkvarts, ledande kisel som ett vanligt fokusringsmaterial, det är nästan nära konduktiviteten hos kiselskivor, men bristen är dåligt etsningsresistens i fluorinnehållande plasma, etsningsmaskindelar som ofta används under en tid, kommer det att finnas allvarliga korrosionsfenomen, vilket allvarligt minskar dess produktionseffektivitet.


SOlid Sic Focus RingArbetsprincip

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Jämförelse av SI -baserad fokuseringsring och CVD SIC Focusing Ring :

Jämförelse av SI -baserad fokuseringsring och CVD SIC -fokuseringsring
Punkt Och CVD SIC
Densitet (g/cm3) 2.33 3.21
Band Gap (EV) 1.12 2.3
Termisk konduktivitet (W/CM ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Elastisk modul (GPA) 150 440
Hårdhet (GPA) 11.4 24.5
Motstånd mot slitage och korrosion Dålig Excellent


Vetek Semiconductor erbjuder avancerad solid kiselkarbid (CVD -kiselkarbid) delar som SIC -fokuseringsringar för halvledarutrustning. Vår fasta kiselkarbidfokuseringsringar överträffar traditionellt kisel när det gäller mekanisk styrka, kemisk resistens, värmeledningsförmåga, hög temperatur hållbarhet och jon etsningsmotstånd.


Viktiga funktioner i våra SIC -fokuseringsringar inkluderar:

Hög densitet för reducerade etsningshastigheter.

Utmärkt isolering med en hög bandgap.

Hög värmeledningsförmåga och låg värmekoefficient.

Överlägsen mekanisk slagmotstånd och elasticitet.

Hög hårdhet, slitmotstånd och korrosionsmotstånd.

Tillverkad medPlasma-förbättrad kemisk ångavsättning (PECVD)Tekniker, våra SIC -fokuseringsringar uppfyller de ökande kraven på etsningsprocesser vid halvledartillverkning. De är utformade för att motstå högre plasmakraft och energi, särskilt iKapacitivt kopplad plasma (CCP)system.

Vetek Semiconductors SIC -fokuseringsringar ger exceptionell prestanda och tillförlitlighet vid tillverkning av halvledarenheter. Välj våra SIC -komponenter för överlägsen kvalitet och effektivitet.


View as  
 
Solid Sic -gasduschhuvud

Solid Sic -gasduschhuvud

Solid SiC -gasduschhuvud spelar en viktig roll för att göra gasuniformen i CVD -processen och därmed säkerställa enhetlig uppvärmning av underlaget. Vetek Semiconductor har varit djupt involverad inom området Solid SIC -enheter i många år och kan ge kunderna anpassade solida SIC -gasduschhuvuden. Oavsett vad dina krav är, ser vi fram emot din förfrågan.
Kemisk ångavsättningsprocess fast sic kantring

Kemisk ångavsättningsprocess fast sic kantring

Vetek Semiconductor har alltid varit engagerad i forskning och utveckling och tillverkning av avancerade halvledarmaterial. Idag har Vetek Semiconductor gjort stora framsteg inom kemisk ångavlagringsprocess Solid Sic Edge Ring -produkter och kan ge kunderna mycket anpassade solida Sic Edge -ringar. Fasta sic kantringar ger bättre etsning enhetlighet och exakt skivpositionering när de används med en elektrostatisk chuck, vilket säkerställer konsekventa och tillförlitliga etsningsresultat. Ser fram emot din förfrågan och bli varandras långsiktiga partners.
Solid Sic Etsing Focusing Ring

Solid Sic Etsing Focusing Ring

Solid SiC -etsningsfokuseringsring är en av kärnkomponenterna i skivlig etsningsprocess, som spelar en roll för att fixa skivan, fokusera plasma och förbättra skivnings etsningens enhetlighet. Som den ledande SIC -fokuseringsringstillverkaren i Kina har Vetek Semiconductor avancerat teknik och mogen process och tillverkar solid SIC -etsning med fokuseringsring som helt uppfyller behoven hos slutkunder enligt kundkraven. Vi ser fram emot din förfrågan och blir varandras långsiktiga partners.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Som professionell Fast kiselkarbid tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att tillgodose de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerad och hållbar Fast kiselkarbid tillverkad i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept