Solid kiselkarbid

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide är en viktig keramisk komponent i plasmaetsningsutrustning, solid kiselkarbid(CVD kiselkarbid) delar i etsningsutrustningen inkluderarfokusringar, gasduschhuvud, bricka, kantringar, etc. På grund av den låga reaktiviteten och konduktiviteten hos fast kiselkarbid (CVD kiselkarbid) till klor- och fluorhaltiga etsgaser, är det ett idealiskt material för plasmaetsningsutrustning som fokuserar ringar och andra komponenter.

Till exempel är fokusringen en viktig del placerad utanför skivan och i direkt kontakt med skivan, genom att applicera en spänning på ringen för att fokusera plasman som passerar genom ringen, och därigenom fokusera plasman på skivan för att förbättra enhetligheten av bearbetning. Den traditionella fokusringen är gjord av silikon ellerkvarts, ledande kisel som ett vanligt fokusringmaterial, det är nästan nära ledningsförmågan hos kiselskivor, men bristen är dålig etsningsmotstånd i fluorinnehållande plasma, material för etsmaskindelar som ofta används under en tid, kommer det att finnas allvarliga korrosionsfenomen, vilket allvarligt minskar dess produktionseffektivitet.

Solid SiC Focus RingArbetsprincip：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Jämförelse av Si-baserad fokuseringsring och CVD SiC-fokusring:

Jämförelse av Si Based Focusing Ring och CVD SiC Focusing Ring
Punkt	Och	CVD SiC
Densitet (g/cm³)	2.33	3.21
Bandgap (eV)	1.12	2.3
Värmeledningsförmåga (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Elastisk modul (GPa)	150	440
Hårdhet (GPa)	11.4	24.5
Motståndskraft mot slitage och korrosion	Dålig	Excellent

VeTek Semiconductor erbjuder avancerade delar av solid kiselkarbid (CVD-kiselkarbid) som SiC-fokuseringsringar för halvledarutrustning. Våra fasta kiselkarbidfokuseringsringar överträffar traditionellt kisel när det gäller mekanisk hållfasthet, kemisk beständighet, värmeledningsförmåga, hållbarhet vid hög temperatur och jonetsningsbeständighet.

Viktiga egenskaper hos våra SiC-fokusringar inkluderar:

Hög densitet för minskad etsningshastighet.

Utmärkt isolering med högt bandgap.

Hög värmeledningsförmåga och låg värmeutvidgningskoefficient.

Överlägsen mekanisk slaghållfasthet och elasticitet.

Hög hårdhet, slitstyrka och korrosionsbeständighet.

Tillverkad med hjälp avplasmaförstärkt kemisk ångdeposition (PECVD)Våra SiC-fokuseringsringar möter de ökande kraven på etsningsprocesser inom halvledartillverkning. De är designade för att tåla högre plasmaeffekt och energi, speciellt ikapacitivt kopplad plasma (CCP)system.

VeTek Semiconductors SiC-fokuseringsringar ger exceptionell prestanda och tillförlitlighet vid tillverkning av halvledarenheter. Välj våra SiC-komponenter för överlägsen kvalitet och effektivitet.

View as

CVD SIC -block för Sic Crystal Growth

CVD SIC -block för Sic Crystal Growth, är ett nytt råmaterial med hög renhet utvecklad av Vetek Semiconductor. Det har ett högt ingångsutgångsförhållande och kan växa högkvalitativa, stora kiselkarbid-enstaka kristaller, som är ett andra generationens material för att ersätta pulvret som används på marknaden idag. Välkommen att diskutera tekniska frågor.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

SIC Crystal Growth New Technology

Vetek Semiconductors ultrahög renhetssilikonkarbid (SIC) bildad av kemisk ångavsättning (CVD) rekommenderas för att användas som källmaterial för odling av kiselkarbidkristaller av fysisk ångtransport (PVT). I SIC Crystal Growth New Technology laddas källmaterialet i en degel och sublimerad på en frökristall. Använd CVD-SIC-block med hög renhet för att vara som en källa för växande SIC-kristaller. Välkommen att etablera ett partnerskap med oss.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

CVD SIC duschhuvud

Vetek Semiconductor är en ledande CVD -SIC -duschtillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på SIC -material i många år. CVD SIC -duschhuvud väljs som ett fokuseringsmaterial på grund av dess utmärkta termokemiska stabilitet, hög mekanisk styrka och resistens mot plasmaerosion. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Sic duschhuvud

Vetek Semiconductor är en ledande SIC-duschhuvudtillverkare och innovatör i Kina. Vi har varit specialiserade på SIC-material i många år. SIC-duschhuvudet väljs som ett fokuserande ringmaterial på grund av dess utmärkta termokemiska stabilitet, hög mekanisk styrka och motstånd mot plasmaerosion. Vi ser fram emot att bli ditt långsiktiga partner i Kina.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Solid Sic -gasduschhuvud

Solid SiC -gasduschhuvud spelar en viktig roll för att göra gasuniformen i CVD -processen och därmed säkerställa enhetlig uppvärmning av underlaget. Vetek Semiconductor har varit djupt involverad inom området Solid SIC -enheter i många år och kan ge kunderna anpassade solida SIC -gasduschhuvuden. Oavsett vad dina krav är, ser vi fram emot din förfrågan.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Kemisk ångavsättningsprocess fast sic kantring

Vetek Semiconductor har alltid varit engagerad i forskning och utveckling och tillverkning av avancerade halvledarmaterial. Idag har Vetek Semiconductor gjort stora framsteg inom kemisk ångavlagringsprocess Solid Sic Edge Ring -produkter och kan ge kunderna mycket anpassade solida Sic Edge -ringar. Fasta sic kantringar ger bättre etsning enhetlighet och exakt skivpositionering när de används med en elektrostatisk chuck, vilket säkerställer konsekventa och tillförlitliga etsningsresultat. Ser fram emot din förfrågan och bli varandras långsiktiga partners.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Som professionell Solid kiselkarbid tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att tillgodose de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerad och hållbar Solid kiselkarbid tillverkad i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-post
anny@veteksemi.com
Adress
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang -provinsen, Kina

Webbmeny

Produktsökning

Språk

Avsluta menyn

Solid kiselkarbid

Viktiga egenskaper hos våra SiC-fokusringar inkluderar:

CVD SIC -block för Sic Crystal Growth

SIC Crystal Growth New Technology

CVD SIC duschhuvud

Sic duschhuvud

Solid Sic -gasduschhuvud

Kemisk ångavsättningsprocess fast sic kantring

Skicka förfrågan

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon

Fax

E-post

Adress