Produkter
Kiselkarbid robotarm
  • Kiselkarbid robotarmKiselkarbid robotarm
  • Kiselkarbid robotarmKiselkarbid robotarm

Kiselkarbid robotarm

Vår kiselkarbid (SIC) robotarm är utformad för högpresterande skivhantering i avancerad halvledartillverkning. Denna robotarm är gjord av hög renhets kiselkarbid och erbjuder enastående motstånd mot höga temperaturer, plasmakorrosion och kemisk attack, vilket säkerställer tillförlitlig drift i att kräva renrumsmiljöer. Dess exceptionella mekaniska styrka och dimensionella stabilitet möjliggör exakt skivhantering samtidigt som föroreningsrisker minimeras, vilket gör det till ett idealiskt val för MOCVD, epitaxy, jonimplantation och andra kritiska skivhanteringsapplikationer. Vi välkomnar dina förfrågningar.

Vetekicons Silicon Carbide Robotic Arm är en avancerad halvledarbearbetningslösning utformad specifikt för hårda industriella miljöer. Genom att använda avancerad högrenad kiselkarbidmaterialsteknik visar den exceptionell stabilitet och hållbarhet i höga temperaturer, frätande miljöer och ultrahöga vakuumförhållanden. Som en nyckelkomponent vid skivhantering, etsning och avsättningsprocesser förbättrar vår robotarm produktivitet avsevärt och minskar underhållskostnaderna.


Ⅰ. Tekniska parametrar


Projekt
Parameter
Material
SIC med hög renhet
Ythårdhet
2800-3200 HV
Belastningskapacitet
3 kg/5 kg/10 kg (olika specifikationer tillgängliga)
Termisk konduktivitet
Termisk konduktivitet
Resistivitet
10^3-10^5 Ω; cm
Tillämplig miljö
Hög temperatur, plasma, frätande gas, ultrahög vakuum
Upprepa positioneringsnoggrannheten
± 0,02 mm

Ⅱ. Vetekemicon Silicon Carbide Robot Arm Core Advantages


1. Extrem miljöntolerans

Vår robotarm använder en unikt formulerad SIC-beläggning som genomgår flera högtemperaturavlagringsprocesser, vilket gör det möjligt för den att upprätthålla strukturell integritet vid långvariga temperaturer på 1500 ° C och effektivt motstå korrosion från plasmabombardement och starka syra- och alkaliska miljöer. Detta behandlar grundläggande smärtpunkterna för traditionella material som är benägna att åldras och har en kort livslängd under extrema arbetsförhållanden.


2. Utmärkta mekaniska egenskaper

Genom att använda en sammansatt struktur av grafitunderlag och SIC -beläggning har vi uppnått en styvhet som långt överstiger metallmaterialet samtidigt som armen är extremt lätt. Denna design säkerställer att deformationen av robotarmen är extremt liten under höghastighetsutmärkt rörelse, vilket effektivt undertrycker jitter, och därigenom kontrollerar den upprepade positioneringsnoggrannheten inom ± 0,02 mm, vilket säkerställer en säker överföring av precisionskivor.


3. Ultrahög renlighet

Vi förstår att partikelformiga föroreningar är den främsta mördaren av utbytet. Därför genomgår varje robotarm precisionspolering och specialiserad ytbehandling, vilket resulterar i en ytråhet RA på mindre än 0,1 um. Beläggningen följer säkert och förhindrar risk för skalning. Våra produkter är 100% renlighetstestade, helt uppfyller ultrahöga rentrumskrav och redo för användning i modernaste produktionslinjer.


4. Långt livslängd

Tack vare SIC: s inneboende hårdhet på 3000 HV och utmärkt slitstyrka upplever våra robotarmar minimal prestanda nedbrytning även efter tiotusentals rörelsescykler. Deras livslängd är flera gånger för vanliga keramiska eller aluminiumlegeringskomponenter, vilket minskar driftstopp avsevärt för ersättning och underhåll, vilket ger betydande total kostnadseffektivitet för våra kunder.


Ⅲ. Huvudapplikationsfält


Ansökningsriktning
Typiskt scenario
Semiceduduktortillverkning
Skivhantering, överföring och positionering
LED -produktion
MOCVD -reaktionskammarkomponenter
Fotovoltaisk industri
PECVD, diffusionsprocess
Flyg-
Automatiserad bearbetning i testmiljöer med hög temperatur

Vetekemicon Silicon Carbide Robot Arm 'Ecological Chain Verification täcker råvaror till produktion, har passerat internationell standardcertifiering och har ett antal patenterade tekniker för att säkerställa dess tillförlitlighet och hållbarhet inom halvledaren och nya energifält. Välkommen att konsultera oss när som helst.


Veteksemicon products shop

Hot Tags: Kiselkarbid robotarm
Skicka förfrågan
Kontaktinformation
För frågor om kiselkarbidbeläggning, tantalkarbidbeläggning, specialgrafit eller prislista, vänligen lämna din e-post till oss så hör vi av oss inom 24 timmar.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept