Silikonkarbidbeläggning

VeTek Semiconductor specialiserar sig på produktion av ultrarena Silicon Carbide Coating-produkter, dessa beläggningar är designade för att appliceras på renad grafit, keramik och eldfasta metallkomponenter.

Våra beläggningar med hög renhet är främst avsedda för användning inom halvledar- och elektronikindustrin. De fungerar som ett skyddande lager för waferbärare, susceptorer och värmeelement, och skyddar dem från korrosiva och reaktiva miljöer som påträffas i processer som MOCVD och EPI. Dessa processer är integrerade i waferbearbetning och tillverkning av enheter. Dessutom är våra beläggningar väl lämpade för tillämpningar i vakuumugnar och provuppvärmning, där högvakuum, reaktiva och syremiljöer förekommer.

På VeTek Semiconductor erbjuder vi en heltäckande lösning med våra avancerade maskinverkstadsmöjligheter. Detta gör det möjligt för oss att tillverka baskomponenterna med grafit, keramik eller eldfasta metaller och applicera SiC- eller TaC-keramiska beläggningar internt. Vi tillhandahåller också beläggningstjänster för kundlevererade delar, vilket säkerställer flexibilitet för att möta olika behov.

Våra kiselkarbidbeläggningsprodukter används ofta i Si-epitaxi, SiC-epitaxi, MOCVD-system, RTP/RTA-process, etsningsprocess, ICP/PSS-etsningsprocess, process av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED mm, som är anpassad till utrustning från LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI och så vidare.

Reaktordelar vi kan göra:

Kiselkarbidbeläggning flera unika fördelar:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Egendom	Typiskt värde
Kristallstruktur	FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
SiC-beläggning Densitet	3,21 g/cm³
SiC-beläggningHårdhet	2500 Vickers hårdhet（500g belastning）
kornstorlek	2~10μm
Kemisk renhet	99,99995 %
Värmekapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Böjningsstyrka	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Värmeledningsförmåga	300W·m^-1·K^-1
Termisk expansion (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FILM KRISTALSTRUKTUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Kiselkarbidbelagd Epi-susceptor SiC Coating Wafer Carrier SiC-belagd satellitkåpa för MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC beläggning Värmeelement Aixtron Satellite wafer bärare SiC Coating Epi-mottagare SiC beläggning halvmåne grafit delar

View as

PSS ETCHING CARRERN PLATE FÖR SEMICONDUCTOR

Vetek Semiconductors PSS etsning av bärare för halvledare är en högkvalitativ, ultra-pure grafitbärare designad för skivhanteringsprocesser. Våra bärare har utmärkt prestanda och kan prestera bra i hårda miljöer, höga temperaturer och hårda kemiska rengöringsförhållanden. Våra produkter används ofta på många europeiska och amerikanska marknader, och vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina. Du är välkommen att komma till Kina för att besöka vår fabrik och lära dig mer om vår teknik och produkter.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Susceptor för snabb termisk glödgning

Vetek Semiconductor är en ledande snabb termisk glödgningstillverkare och leverantör i Kina, med fokus på att tillhandahålla högpresterande lösningar för halvledarindustrin. Vi har många års djup teknisk ansamling inom området SIC -beläggningsmaterial. Vår snabba termiska glödgning av susceptor har utmärkt hög temperaturbeständighet och utmärkt värmeledningsförmåga för att tillgodose behoven hos skivepitaxial tillverkning. Du är välkommen att besöka vår fabrik i Kina för att lära dig mer om vår teknik och produkter.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Kiselbaserad GaN-epitaxial susceptor

Den kiselbaserade GaN-epitaxial Susceptor är den kärnkomponent som krävs för GaN-epitaxialproduktion. Vetekemicon Silicon-baserade GaN-epitaxial susceptor är speciellt utformad för kiselbaserad GaN-epitaxial reaktorsystem, med fördelar som hög renhet, utmärkt hög temperaturbeständighet och korrosionsbeständighet. Välkommen din ytterligare konsultation.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

8 tum halvmoondel för LPE -reaktor

Vetek Semiconductor är en ledande tillverkare av halvledarutrustning i Kina, med fokus på FoU och produktion av 8 tum halvmoondel för LPE -reaktor. Vi har samlat rik erfarenhet under åren, särskilt i SIC -beläggningsmaterial, och har åtagit sig att tillhandahålla effektiva lösningar skräddarsydda för LPE -epitaxiella reaktorer. Vår 8 -tums halvmåne -del för LPE -reaktor har utmärkt prestanda och kompatibilitet och är en oundgänglig nyckelkomponent i epitaxial tillverkning. Välkommen din förfrågan för att lära dig mer om våra produkter.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

SiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6'' wafers

SiC Coated Pancake Susceptor för LPE PE3061S 6'' wafers är en av kärnkomponenterna som används i 6'' wafers epitaxial wafer bearbetning. VeTek Semiconductor är för närvarande en ledande tillverkare och leverantör av SiC Coated Pancake Susceptor för LPE PE3061S 6'' wafers i Kina. Den SiC-belagda pannkakssusceptorn som den tillhandahåller har utmärkta egenskaper som hög korrosionsbeständighet, god värmeledningsförmåga och god enhetlighet. Ser fram emot din förfrågan.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

SIC -belagd stöd för LPE PE2061S

Vetek Semiconductor är en ledande tillverkare och leverantör av SIC -belagda grafitkomponenter i Kina. SIC -belagda stöd för LPE PE2061S är lämpligt för LPE -kiselepitaxial reaktor. Som botten av fatbasen kan SIC-belagda stöd för LPE PE2061 tåla höga temperaturer på 1600 grader Celsius och därmed uppnå ultralång produktlivslängd och minska kundkostnaderna. Ser fram emot din förfrågan och ytterligare kommunikation.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Som professionell Silikonkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att tillgodose de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerad och hållbar Silikonkarbidbeläggning tillverkad i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-post
anny@veteksemi.com
Adress
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang -provinsen, Kina

Webbmeny

Produktsökning

Språk

Avsluta menyn

Silikonkarbidbeläggning

Reaktordelar vi kan göra:

Kiselkarbidbeläggning flera unika fördelar:

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

CVD SIC FILM KRISTALSTRUKTUR

PSS ETCHING CARRERN PLATE FÖR SEMICONDUCTOR

Susceptor för snabb termisk glödgning

Kiselbaserad GaN-epitaxial susceptor

8 tum halvmoondel för LPE -reaktor

SiC-belagd pannkakssusceptor för LPE PE3061S 6'' wafers

SIC -belagd stöd för LPE PE2061S

Skicka förfrågan

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon

Fax

E-post

Adress