Produkter
CVD SiC-beläggning Epitaxisusceptor
  • CVD SiC-beläggning EpitaxisusceptorCVD SiC-beläggning Epitaxisusceptor
  • CVD SiC-beläggning EpitaxisusceptorCVD SiC-beläggning Epitaxisusceptor

CVD SiC-beläggning Epitaxisusceptor

VeTek Semiconductors CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor är ett precisionskonstruerat verktyg designat för hantering och bearbetning av halvledarskivor. Denna SiC Coating Epitaxy Susceptor spelar en viktig roll för att främja tillväxten av tunna filmer, epilager och andra beläggningar, och kan exakt kontrollera temperatur och materialegenskaper. Välkommen med dina ytterligare förfrågningar.

CVD SIC -beläggning Epitaxy Susceptor är en typ avMOCVD EPI Suscepter, som spelar en central roll i CVD -reaktorn. Som EPI -susceptor är det inte bara en värmekälla utan ger också en stabil supportplattform för underlaget under deponeringsprocessen.SiC-beläggningkan effektivt minska oxidationen och föroreningen av grafit -susceptor i miljöer med hög temperatur och därmed säkerställa den avsatta materialets höga renhet.

Grundläggandefysikaliska egenskaper hos CVD SiC-beläggning:

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning
Egendom
Typiskt värde
Kristallstruktur
FCC ß -faspolykristallin, främst (111) orienterad
Densitet
3,21 g/cm³
Hårdhet
2500 Vickers hårdhet (500 g belastning)
Kornstorlek
2 ~ 10mm
Kemisk renhet
99,99995 %
Värmekapacitet
640 J · kg-1· K-1
Sublimeringstemperatur
2700 ℃
Böjningsstyrka
415 MPA RT 4-punkt
Youngs modul
430 Gpa 4pt böj, 1300℃
Termisk konduktivitet
300W · m-1· K-1
Termisk expansion (CTE)
4,5 × 10-6K-1

CVD SIC -beläggning Epitaxy Susceptor Produktfördelar:

   ●  Exakt deponering: Med CVD SiC-beläggningens epitaxy-susceptor kan du uppnå exakt kontrollerad avsättning av tunna filmer och beläggningar för att få högkvalitativa och repeterbara resultat.

   ●  Minskad kontaminering: SiC-beläggning minimerar risken för kontaminering frånEPI -supporterBaserad grafit, vilket säkerställer renheten på det deponerade materialet.

   ●  Varaktighet: SIC -beläggning förbättrar oxidationsmotståndet och kemisk korrosionsbeständighet hos grafitepitaxi -susceptor, vilket ger den en längre livslängd och högre tillförlitlighet.


VeTek Semiconductorhar åtagit sig att tillhandahålla högkvalitativa produkter och konkurrenskraftiga priser. Oavsett om det är detOm EPI-mottagareneller grafit med hög renhet EPI Susceptor, vi kan tillgodose dina behov. Vi ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.


VeTek SemiconductorCVD SIC -beläggning Epitaxy Susceptor Produktbutiker:


graphite-epi-susceptormocvd-led-epi-susceptorgraphite-epitaxygraphite-epitaxy-susceptor


Hot Tags: CVD SiC-beläggning Epitaxisusceptor
Skicka förfrågan
Kontaktinformation
För frågor om kiselkarbidbeläggning, tantalkarbidbeläggning, specialgrafit eller prislista, vänligen lämna din e-post till oss så hör vi av oss inom 24 timmar.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept