CVD Sic Coating Epitaxy Susceptor

Veteksemicons CVD SIC-beläggning Epitaxy Susceptor är ett precisionskonstruerat verktyg utformat för halvledarskivlig bearbetning. Denna SIC -beläggning Epitaxy Susceptor spelar en viktig roll för att främja tillväxten av tunna filmer, epilager och andra beläggningar och kan exakt kontrollera temperatur- och materialegenskaper. Välkomna dina ytterligare förfrågningar.

GrundläggandeFysikaliska egenskaper hos CVD SIC -beläggning:

CVD SIC -beläggning Epitaxy Susceptor Produktfördelar:

● Exakt deposition: Susceptor kombinerar ett mycket termiskt ledande grafitunderlag med en SIC -beläggning för att ge en stabil supportplattform för underlag (som safir, sic eller gaN). Dess höga värmeledningsförmåga (såsom Sic är cirka 120 W/m · K) kan snabbt överföra värme och säkerställa enhetlig temperaturfördelning på substratytan och därmed främja högkvalitativ tillväxt av det epitaxiella skiktet.

● Minskad förorening: SIC -beläggningen framställd av CVD -processen har extremt hög renhet (föroreningsinnehåll <5 ppm) och är mycket resistent mot frätande gaser (såsom CL₂, NH₃), vilket undviker förorening av det epitaxiala skiktet.

● Varaktighet: SIC: s höga hårdhet (Mohs hårdhet 9.5) och slitmotstånd minskar den mekaniska förlusten av basen under upprepad användning och är lämpliga för högfrekventa halvledarproduktionsprocesser.

Veteksemicon har åtagit sig att tillhandahålla högkvalitativa produkter och konkurrenskraftiga priser. Vi ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.

Det halvledare Produktbutiker: