Kvartsugnsrör för diffusionsugn

1. Nyckelfunktioner och fördelar

• Ultrahög renhet dehydroxylerad smält kvarts (SiO₂ ≥ 99,999%) med metallföroreningar kontrollerade vid ppb-nivåer och extremt låg hydroxylhalt

• Långtidsdriftstemperatur upp till 1100 °C; kortvarig toppmotstånd till 1200 °C

• Utmärkt värmechockbeständighet efter full avspänningsglödgning – resistent mot sprickbildning vid snabba temperaturförändringar

• Enastående kemisk tröghet mot oxiderande, reducerande och halogenhaltiga processgaser; lämplig för plasma och korrosiva atmosfärer

• Mycket låg vakuumavgasning; slät innervägg minimerar uppbyggnad av biprodukter och stödjer processens repeterbarhet

• Formning i ett stycke med jämn väggtjocklek, hög koaxialitet och precisionsbearbetade ändar för pålitlig tätning

• Anpassningsbara strukturer: raka rör, reducerrör, flänsade rör, förlängda längder och speciella ändkonfigurationer för vertikala eller horisontella ugnar

2. Typiska tillämpningar

VeTek kvartsugnsrör används ofta som kärnreaktionskammaren i:

• Termiska oxidationsugnar (torr/våt oxidation)

• Diffusionsugnar för införande av dopmedel (B, P, As, etc.)

• LPCVD-system för tunnfilmsavsättning

• Vakuumglödgning och andra högtemperaturvärmebehandlingsprocesser

• Kompatibel med 4-tums, 6-tums, 8-tums och 12-tums waferplattformar (Si, SiC, GaN, safirsubstrat)

De stöder logik, minne, kraftenhet, MCU, LED, MEMS och halvledartillverkningslinjer med breda bandgap som kräver stabil temperaturlikformighet, gasflödeskontroll och ultrarena processmiljöer.

3. Viktiga tekniska parametrar

• Material: Halvledarkvalitet dehydroxylerad smält kvarts (SiO₂ ≥ 99,999%), låg hydroxylhalt, låg metallisk förorening

• Wafer-kompatibilitet: 4 / 6 / 8 / 12 tum

• Långtidsarbetstemperatur: −20 °C till 1100 °C; kortvarig topp upp till 1200 °C

• Process: Termisk formning i ett stycke, vägghomogenisering, slutbehandling, avspänningsglödgning, heliumläckagetest, ultraren rengöring

• Tillgängliga strukturer: rakt rör, reducerrör, flänsrör, förlängt / anpassad längd rör, specialändkonfigurationer

• Anpassning: Inre/yttre diameter, längd, väggtjocklek, flänsspecifikationer och speciella geometrier enligt kundens ritningar

4. Varför välja VeTek Quartz Furnace Tubes?

Som en professionell tillverkare av halvledarkvartskomponenter erbjuder VeTek Semiconductor:

• Kvartsugnsrör av hög renhet konstruerade för oxidation, diffusion, LPCVD och glödgningsutrustning

• Strikt renhetskontroll, dimensionsnoggrannhet och renlighet lämpliga för klass 10/klass 100 renrumsproduktion

• Fullständig anpassning och OEM-kompatibla konstruktioner för vertikala och horisontella rörugnar

• Kompletterande halvledarkvartsprodukter inklusive waferbåtar, deglar, liners och andra processkomponenter

Våra kvartsugnsrör hjälper till att upprätthålla stabila termiska och gasflödesförhållanden, minimerar partikel- och metallförorening och förlänger livslängden under kontinuerliga högtemperaturcykler – vilket stödjer högre utbyte och lägre ägandekostnader vid termisk halvledarbearbetning.