Ald smält kvarts pedestal

Vetek Semiconductor ALD Fused Quartz Pedestal spelar en nyckelroll i halvledartillverkningsprocessen som en stödstruktur förkvartsbåt, som används för att hållarån. Fused Quartz Pedestal hjälper till att uppnå enhetlig filmavsättning genom att upprätthålla en stabil temperatur, vilket direkt påverkar prestandan och tillförlitligheten hos halvledarenheter. Dessutom säkerställer Quartz Pedestal jämn fördelning av värme och ljus i processkammaren, vilket förbättrar den övergripande kvaliteten på deponeringsprocessen.

ALD smält kvartspedestalmaterialfördelar

Hög temperaturbeständighet: Mjukningspunkten för den smälta kvartspiedestalen är så hög som cirka 1730°C, och den tål hög temperaturdrift på 1100°C till 1250°C under lång tid och kan utsättas för extrema temperaturmiljöer upp till 1450°C under en kort tid.

Utmärkt korrosionsbeständighet: Smält kvarts är mycket kemiskt inert för nästan alla syror utom hydrofluorsyra. Dess syremotstånd är 30 gånger högre än keramik och 150 gånger högre än rostfritt stål. Fused Quartz är kemiskt oöverträffad vid höga temperaturer, vilket gör det till ett idealiskt material för komplexa kemiska processer.

Termisk stabilitet: Ett viktigt inslag i det smälta kvartspedestalmaterialet är dess extremt låga värmeutvidgningskoefficient. Detta innebär att det lätt kan hantera dramatiska temperaturfluktuationer utan att spricka. Till exempel kan smält kiseldioxidkvarts snabbt upphettas till 1100 ° C och nedsänktes direkt i kallt vatten utan skador, en viktig egenskap i högspänningstillverkningsförhållanden.

Rigorös tillverkningsprocess: Produktionsprocessen för piedestaler av smält kisel följer strikt höga kvalitetsstandarder. Produktionsprocessen använder varmformnings- och svetsprocesser, som vanligtvis genomförs i en renrumsmiljö av klass 10 000. Efteråt rengörs den smälta kvartsglaspiedestalen noggrant med ultrarent vatten (18 MΩ) för att säkerställa produktens renhet och optimal prestanda. Varje färdig produkt inspekteras noggrant, rengörs och förpackas i ett renrum av klass 1 000 eller högre för att möta de höga standarderna inom halvledarindustrin.

Högrent ogenomskinligt kvartsmaterial av kiseldioxid

VeTeksemi ALD Fused Quartz Piedestal använder högrent ogenomskinligt kvartsmaterial för att effektivt isolera värme och ljus. Dess utmärkta värmeskyddande och ljusavskärmande egenskaper gör det möjligt för den att upprätthålla enhetlig temperaturfördelning i processkammaren, vilket säkerställer enhetlighet och konsistens av tunnafilmavsättningpå skivans yta.

Applikationsfält

Smält kvartspiedestaler används i stor utsträckning inom många områden av halvledarindustrin på grund av deras utmärkta prestanda. I denatomskiktsdeposition (ALD) process, Det stöder exakt kontroll av filmtillväxt och säkerställer utvecklingen av halvledarenheter. IKemisk ångavsättning med låg tryck (LPCVD), den termiska stabiliteten och den lätta skärmförmågan hos högrenhetskvartspedestal ger garantier för enhetlig avsättning av tunna filmer, vilket förbättrar enhetens prestanda och utbyte.

Dessutom, i diffusionsskivprocessen, säkerställer den höga temperaturmotståndet och kemiska korrosionsbeständigheten hos smält kvartspedestal tillförlitligheten och konsistensen i halvledarmaterialets dopingprocess. Dessa viktiga processer bestämmer den elektriska prestandan för halvledarenheter, och högkvalitativa smältkvartsmaterial spelar en oumbärlig roll för att uppnå de bästa resultaten av dessa processer.

Vetek Semiconductor Ald smält kvarts pedestalbutiker: