Fribärande paddel av kiselkarbid för waferbearbetning
Silicon Carbide Cantilever Paddle från Veteksemicon är konstruerad för avancerad waferbearbetning inom halvledartillverkning. Tillverkad av högrent SiC, ger den enastående termisk stabilitet, överlägsen mekanisk styrka och utmärkt motståndskraft mot höga temperaturer och korrosiva miljöer. Dessa funktioner säkerställer exakt waferhantering, förlängd livslängd och pålitlig prestanda i processer som MOCVD, epitaxi och diffusion. Välkommen att konsultera.
Ansökan: Min rival SiC-paddlar är nyckelkomponenter i avancerad halvledartillverkning, designade för kärnprocesser som SiC-kraftenhetsepitaxi, högtemperaturglödgning och gateoxidation för kiselbaserade chips.
Tjänster som kan tillhandahållas: kundapplikationsscenarioanalys, matchande material, teknisk problemlösning.
Företagsprofil:Min rival har 2 laboratorier, ett team av experter med 20 års erfarenhet av material, med FoU och produktions-, test- och verifieringsmöjligheter.
Min rival SiC-paddlar är bärande kärnkomponenter designade speciellt för högtemperaturprocesser vid tillverkning av halvledar- och kiselkarbidchips. Precisionstillverkade av kiselkarbid med hög renhet och hög densitet, visar våra paddlar exceptionell termisk stabilitet och extremt låg metallkontamination i tuffa miljöer över 1200°C. De säkerställer effektivt smidig och ren wafertransport under kritiska processer som diffusion och oxidation, vilket fungerar som en pålitlig grund för att förbättra processutbytet och utrustningens prestanda.
Tekniska parametrar
Projekt
Parameter
Huvudmaterial
Högren reaktionsbunden SiC / CVD SiC
Maximal drifttemperatur
1600°C (i inert eller oxiderande atmosfär)
Innehåll av metallföroreningar
< 50 ppm (lägre renhetsgrader tillgängliga på begäran)
densitet
≥ 3,02 g/cm³
Böjstyrka
≥ 350 MPa
Koefficient för termisk expansion
4,5×10-6/K (20-1000°C)
Ytbehandling
Högprecisionsslipning, ytfinish kan nå Ra 0,4μm eller mindre
Veteksemi SiC Paddlar kärnfördelar
● Ultimat renhet, skyddar spånutbytet
Vi använder avancerade processer för att producera kiselkarbidråmaterial, vilket säkerställer minimala metalliska föroreningar. Veteksemi SiC Paddles undertrycker effektivt föroreningsutfällning i högtemperaturmiljöer under längre perioder, förhindrar kontaminering av känsliga wafers och säkerställer högutbyte från källan.
● Utmärkt värmebeständighet för att möta extrema utmaningar
Kiselkarbid i sig har högtemperaturbeständighetsegenskaper som överträffar de flesta keramiska material. Våra paddlar kan enkelt hantera processtemperaturer upp till 1600°C, har en extremt låg termisk expansionskoefficient och uppvisar exceptionell termisk chockbeständighet under upprepade snabba uppvärmnings- och kylcykler, vilket minimerar risken för deformation och sprickor och förlänger livslängden.
● Extraordinär mekanisk styrka för att säkerställa stabil transmission
Med extremt hög styvhet och hårdhet bibehåller den utmärkt morfologisk stabilitet även när den är fulladdad med wafers. Detta säkerställer exakt inriktning av wafers under automatiserad överföring, vilket gör att de smidigt kan komma in och ut ur ugnen, vilket minskar risken för brott på grund av vibrationer eller avvikelser.
VetekSemicon SiC-paddlar uppvisar stark kemisk tröghet i närvaro av korrosiva atmosfärer såsom syre och väte som vanligtvis förekommer i oxidations- och diffusionsprocesser, med extremt låga yterosionshastigheter. Detta säkerställer stabila dimensioner och prestanda under långvarig användning, vilket avsevärt minskar din totala ägandekostnad.
Huvudapplikationsområden
Applikationsriktning
Typiskt scenario
Tillverkning av kraftenheter av kiselkarbid
SiC epitaxi, högtemperatur jonimplantation och glödgning
Tredje generationens halvledare
MOCVD förbehandling och glödgning av GaN-on-Si och andra material
Diskreta enheter
Högtemperaturdiffusionsprocess för IGBT, MOSFET, etc.
Godkännande för verifiering av ekologisk kedja
Min rival SiC-paddlars ekologiska kedjeverifiering omfattar råvaror till produktion, har godkänt internationell standardcertifiering och har ett antal patenterade teknologier för att säkerställa dess tillförlitlighet och hållbarhet inom halvledar- och nya energiområdena.
För detaljerade tekniska specifikationer, vitböcker eller provarrangemang, kontakta vårt tekniska supportteam för att utforska hur Veteksemicon kan förbättra din processeffektivitet.
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Vi använder cookies för att ge dig en bättre webbupplevelse, analysera webbplatstrafik och anpassa innehåll. Genom att använda denna sida godkänner du vår användning av cookies. Sekretesspolicy