Fribärande paddel av kiselkarbid för waferbearbetning

Allmän produktinformation

Produktens affärsvillkor

Ansökan: Min rival SiC-paddlar är nyckelkomponenter i avancerad halvledartillverkning, designade för kärnprocesser som SiC-kraftenhetsepitaxi, högtemperaturglödgning och gateoxidation för kiselbaserade chips.

Tjänster som kan tillhandahållas: kundapplikationsscenarioanalys, matchande material, teknisk problemlösning.

Företagsprofil:Min rival har 2 laboratorier, ett team av experter med 20 års erfarenhet av material, med FoU och produktions-, test- och verifieringsmöjligheter.

Tekniska parametrar

Veteksemi SiC Paddlar kärnfördelar

 ● Ultimat renhet, skyddar spånutbytet

Vi använder avancerade processer för att producera kiselkarbidråmaterial, vilket säkerställer minimala metalliska föroreningar. Veteksemi SiC Paddles undertrycker effektivt föroreningsutfällning i högtemperaturmiljöer under längre perioder, förhindrar kontaminering av känsliga wafers och säkerställer högutbyte från källan.

● Utmärkt värmebeständighet för att möta extrema utmaningar

Kiselkarbid i sig har högtemperaturbeständighetsegenskaper som överträffar de flesta keramiska material. Våra paddlar kan enkelt hantera processtemperaturer upp till 1600°C, har en extremt låg termisk expansionskoefficient och uppvisar exceptionell termisk chockbeständighet under upprepade snabba uppvärmnings- och kylcykler, vilket minimerar risken för deformation och sprickor och förlänger livslängden.

● Extraordinär mekanisk styrka för att säkerställa stabil transmission

Med extremt hög styvhet och hårdhet bibehåller den utmärkt morfologisk stabilitet även när den är fulladdad med wafers. Detta säkerställer exakt inriktning av wafers under automatiserad överföring, vilket gör att de smidigt kan komma in och ut ur ugnen, vilket minskar risken för brott på grund av vibrationer eller avvikelser.

● Utmärkt korrosionsbeständighet, förlängd livslängd

VetekSemicon SiC-paddlar uppvisar stark kemisk tröghet i närvaro av korrosiva atmosfärer såsom syre och väte som vanligtvis förekommer i oxidations- och diffusionsprocesser, med extremt låga yterosionshastigheter. Detta säkerställer stabila dimensioner och prestanda under långvarig användning, vilket avsevärt minskar din totala ägandekostnad.

Huvudapplikationsområden

Godkännande för verifiering av ekologisk kedja

Min rival SiC-paddlars ekologiska kedjeverifiering omfattar råvaror till produktion, har godkänt internationell standardcertifiering och har ett antal patenterade teknologier för att säkerställa dess tillförlitlighet och hållbarhet inom halvledar- och nya energiområdena.

För detaljerade tekniska specifikationer, vitböcker eller provarrangemang, kontakta vårt tekniska supportteam för att utforska hur Veteksemicon kan förbättra din processeffektivitet.