Oxidation och diffusionsugn

Oxidations- och diffusionsugnar används inom olika områden som halvledaranordningar, diskreta enheter, optoelektroniska enheter, elektroniska enheter, solceller och storskalig integrerad kretstillverkning. De används för processer inklusive diffusion, oxidation, glödgning, legering och sintring av skivor.

Vetek Semiconductor är en ledande tillverkare som specialiserat sig på produktion av högren grafit, kiselkarbid- och kvartskomponenter i oxidations- och diffusionsugnar. Vi är engagerade i att tillhandahålla högkvalitativa ugnskomponenter för halvledaren och fotovoltaiska industrier och är i framkant inom ytbeläggningstekniken, såsom CVD-SIC, CVD-TAC, pyrocarbon, etc.

Fördelarna med Vetek Semiconductor Silicon Carbide Components:

● Hög temperaturmotstånd (upp till 1600 ℃)

● Utmärkt värmeledningsförmåga och termisk stabilitet

● Bra kemisk korrosionsmotstånd

● Låg värmekoefficient

● Hög styrka och hårdhet

● Långt livslängd

Vid oxidations- och diffusionsugnar, på grund av närvaron av hög temperatur och frätande gaser, kräver många komponenter användning av högtemperatur och korrosionsbeständiga material, bland vilka kiselkarbid (SIC) är ett vanligt använt val. Följande är vanliga kiselkarbidkomponenter som finns i oxidationsugnar och diffusionsugnar:

● Wafer båt

Kiselkarbidbåt är en behållare som används för att bära kiselskivor, som tål höga temperaturer och inte kommer att reagera med kiselskivor.

● Ugnsrör

Ugnsröret är kärnkomponenten i diffusionsugnen, som används för att rymma kiselskivor och kontrollera reaktionsmiljön. Kiselkarbidugnrör har utmärkta högtemperatur och korrosionsbeständighet.

● Baffelplatta

Används för att reglera luftflödet och temperaturfördelningen inuti ugnen

● Termoelementskyddsrör

Används för att skydda temperaturmätning av termoelement från direktkontakt med frätande gaser.

● Cantilever Paddel

Kiselkarbidkantilver paddlar är resistenta mot hög temperatur och korrosion och används för att transportera kiselbåtar eller kvartsbåtar som bär kiselskivor i diffusionsugnrören.

● Gasinjektor

Används för att införa reaktionsgas i ugnen måste den vara resistent mot hög temperatur och korrosion.

● båtbärare

Kiselkarbidbåtbärare används för att fixa och stödja kiselskivor, som har fördelar som hög styrka, korrosionsbeständighet och god strukturell stabilitet.

● Ugnsdörr

Kiselkarbidbeläggningar eller komponenter kan också användas på insidan av ugnsdörren.

● Uppvärmningselement

Kiselkarbidvärmeelement är lämpliga för höga temperaturer, hög effekt och kan snabbt höja temperaturen till över 1000 ℃.

● SIC -foder

Används för att skydda den inre väggen i ugnsrören, kan det bidra till att minska förlusten av värmeenergi och tål hårda miljöer som hög temperatur och högt tryck.

View as

Kiselkarbid keramisk skivbåt

Vetek Semiconductor är specialiserat på att tillhandahålla högkvalitativa skivbåtar, piedestaler och anpassade skivbärare i vertikala/kolumn och horisontella konfigurationer för att uppfylla olika halvledarprocesskrav. Som en ledande tillverkare och leverantör av kiselkarbidbeläggningsfilmer gynnas vår keramiska skivbåt av kiselkarbid av de europeiska och amerikanska marknaderna för deras höga kostnadseffektivitet och utmärkta kvalitet och används allmänt i avancerade halvledarprocesser. Vetek Semiconductor har åtagit sig att etablera långsiktiga och stabila kooperativa relationer med globala kunder, och hoppas särskilt att bli din pålitliga halvledarprocesspartner i Kina.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Kiselkarbid (sic) cantilever paddle

Silicon Carbide (SiC) Cantilever Paddles roll i halvledarindustrin är att stödja och transportera wafers. I högtemperaturprocesser som diffusion och oxidation kan SiC fribärande paddel stabilt bära waferbåtar och wafers utan deformation eller skador på grund av hög temperatur, vilket säkerställer ett smidigt framsteg av processen. Att göra diffusion, oxidation och andra processer mer enhetliga är avgörande för att förbättra konsistensen och utbytet av waferbearbetning. VeTek Semiconductor använder avancerad teknik för att bygga SiC fribärande paddel med högren kiselkarbid för att säkerställa att wafers inte kommer att kontamineras. VeTek Semiconductor ser fram emot ett långsiktigt samarbete med dig om Silicon Carbide (SiC) Cantilever Paddle-produkter.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Kvartsgel

VeTek Semiconductor är en ledande leverantör och tillverkare av kvartsdegel i Kina. de kvartsdeglar vi tillverkar används främst inom halvledar- och solcellsfälten. De har egenskaperna renhet och hög temperaturbeständighet. Och vår kvartsdegel för halvledare stödjer produktionsprocesserna för att dra, ladda och lossa kiselstavar av polykiselråmaterial i produktionsprocessen för halvledarkiselwafer, och är viktiga förbrukningsvaror för produktion av kiselwafer. VeTek Semiconductor ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Kiselkarbidskiva bärare

Som en professionell leverantör av kiselkarbidskivor i Kina är VeTek Semiconductor SiC waferbärare ett verktyg speciellt använt för hantering och bearbetning av halvledarwafers, som spelar en oersättlig roll i halvledarwaferprocessen. Välkommen till din vidare konsultation.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Kiselpedestal

VeTek Semiconductor Silicon Piedestal är en nyckelkomponent i halvledardiffusion och oxidationsprocesser. Som en dedikerad plattform för att bära silikonbåtar i högtemperaturugnar har Silicon Piedestal många unika fördelar, inklusive förbättrad temperaturlikformighet, optimerad waferkvalitet och förbättrad prestanda hos halvledarenheter. För mer produktinformation är du välkommen att kontakta oss.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Sic keramisk tätningsring

Som en storskalig fabrik och leverantör av Sic Ceramic Seal Ring-produkter i Kina har Vetek Semiconductor Sic Ceramic Seal Ring ett brett utbud av applikationer inom industriområdet på grund av dess utmärkta termiska konduktivitet, enastående kemisk och korrosionsbeständighet och hög styrka och styvhet. Välkomna dina ytterligare förfrågningar.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Som professionell Oxidation och diffusionsugn tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att tillgodose de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerad och hållbar Oxidation och diffusionsugn tillverkad i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-post
anny@veteksemi.com
Adress
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang -provinsen, Kina

Webbmeny

Produktsökning

Språk

Avsluta menyn

Oxidation och diffusionsugn

Fördelarna med Vetek Semiconductor Silicon Carbide Components:

Kiselkarbid keramisk skivbåt

Kiselkarbid (sic) cantilever paddle

Kvartsgel

Kiselkarbidskiva bärare

Kiselpedestal

Sic keramisk tätningsring

Skicka förfrågan

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon

Fax

E-post

Adress