Hög renhet SiC wafer båthållare

VeTekSemi High purity SiC wafer båtbärare är en viktig lagerkomponent som används i glödgningsugnar, diffusionsugnar och annan utrustning i halvledartillverkningsprocessen. Högren SiC wafer båthållare är vanligtvis gjord av högrent kiselkarbidmaterial och innehåller huvudsakligen följande delar:

• Båtstödsorgan: en struktur som liknar en konsol, speciellt använd för att bärakiselwaferseller andra halvledarmaterial.

• Stödstruktur: Dess stödkonstruktion gör att den kan bära tunga belastningar vid höga temperaturer och kommer inte att deformeras eller skadas under högtemperaturbehandling.

kiselkarbidmaterial

Fysiska egenskaper hosOmkristalliserad kiselkarbid：

Om produktionsprocessens krav är högre,CVD SiC-beläggningkan utföras på High purity SiC wafer boat carrier för att få renheten att nå mer än 99,99995 %, vilket ytterligare förbättrar dess motståndskraft mot höga temperaturer.

Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning:

Under högtemperaturbehandling gör SiC-skivans båtbärare med hög renhet att kiselskivan kan värmas upp jämnt för att undvika lokal överhettning. Dessutom gör den höga temperaturbeständigheten hos kiselkarbidmaterial det möjligt att bibehålla strukturell stabilitet vid temperaturer på 1200°C eller ännu högre.

Under diffusions- eller glödgningsprocessen arbetar den fribärande paddeln och High purity SiC wafer båthållaren tillsammans. Defribärande paddelTryck långsamt den höga renheten Sic Wafer -båtbäraren som bär kiselskivan in i ugnskammaren och stoppar den vid en avsedd position för bearbetning. 

Den höga renheten Sic Wafer -båtbäraren upprätthåller kontakten med kiselskivan och är fixerad i ett specifikt läge under värmebehandlingsprocessen, medan utskjutande paddel hjälper till att hålla hela strukturen i rätt läge samtidigt som temperaturens enhetlighet säkerställs.

SiC waferbåthållaren med hög renhet och fribärande paddel arbetar tillsammans för att säkerställa noggrannheten och stabiliteten i högtemperaturprocessen.

Vetek Semiconductor ger dig anpassad sic -skivbåtbärare med hög renhet enligt dina behov. Ser fram emot din förfrågan.

Det halvledareHög renhet sic wafer båtbärare butiker: