Smält opak kvarts

Fused ogenomskinlig kvarts är huvudsakligen tillverkad av elektrisk fusion, som använder hög temperaturelektrisk uppvärmning för att smälta kvartsand för hög renhet för att producera kvartsglas med ett stort antal mikrobubblor med ogenomskinliga egenskaper. Elektrisk smält kvarts innehåller ett stort antal små bubblor inuti, vilket gör det ogenomskinligt och hjälper till att reflektera och sprida värme. Dessutom har den hög temperaturbeständighet, låg värmeledningsförmåga, god kemisk stabilitet, etc. Dessa egenskaper gör smält ogenomskinlig kvarts till ett idealiskt materialval för olika processer i halvledartillverkning. 

För närvarande har opak kvarts många nyckelapplikationer inom halvledarområdet:

●  Ugnsrör i diffusions- och oxidationsprocesser

Fused ogenomskinlig kvarts kan användas som ugnsrörmaterial för diffusionsugnar och oxidationsugnar. Dess höga temperaturmotstånd, termisk chockmotstånd och god kemisk stabilitet säkerställer att stabila kemiska egenskaper kan upprätthållas vid höga temperaturer, vilket ger en föroreningsfri miljö och säkerställer stabiliteten och konsistensen i halvledarprocesser.

● Maskplattor och isoleringsmaterial

Vid halvledarbearbetning kan smält opak kvarts användas som maskplattor och isoleringsmaterial. På grund av dess opacitet och låga ljustransmittans kan den effektivt blockera onödigt ljus och värme, vilket förhindrar att den termiska strålningen som genereras i dopnings- och oxidationsdiffusionsprocessen påverkar andra delar. Detta är särskilt viktigt för att exakt kontrollera doping och skydda känsliga områden.

●  Deglar och värmekåpor

Under dragprocessen av halvledarwafers används Fused Quartz-deglar för att hålla högtemperatursmält kisel på grund av deras utmärkta högtemperaturbeständighet och låga värmeledningsförmåga. Låg värmeledningsförmåga kan minska värmeförlusten, göra uppvärmningen mer enhetlig och säkerställa stabiliteten hos enkristalldragning. Smält opaka kvartsvärmehuvar används för värmeisolering, förhindrar värmeförlust och förbättrar energieffektiviteten.

●  Stödmaterial vid kemisk ångdeposition (CVD)

Under den kemiska ångavsättningsprocessen används smält ogenomskinlig kvarts som ett waferstödmaterial. Dess låga värmeledningsförmåga och höga temperaturbeständighet hjälper till att upprätthålla ett stabilt temperaturfält och förhindrar överhettning eller ojämn uppvärmning. Kemisk inerthet säkerställer att den inte kommer att reagera med reaktiva gaser vid höga temperaturer, vilket bibehåller renheten och kvaliteten på det avsatta skiktet.

●  Värmeavskärmande och isoleringskomponenter

Halvledartillverkningsutrustning behöver ofta arbeta kontinuerligt vid höga temperaturer, och den låga värmeledningsförmågan och termiska chockmotståndet hos smält ogenomskinlig kvarts gör det till en idealisk värmeskärmning och isoleringskomponent. Att använda smält ogenomskinlig kvarts som värmeskärmningsmaterial kan effektivt minska energiförlusten och förhindra att utrustningen överförs till andra områden och därmed skyddar precisionsdelar.

●  Skyddsmaterial i etsnings- och rengöringsutrustning

Fused Opaque Quartz har extremt starka syra- och alkalimotstånd, vilket gör det till ett skyddande material i halvledarets etsning och rengöringsutrustning för att förhindra frätande kemikalier från att skada utrustningen. Dess kemiska inerthet hjälper också den att förbli stabil i hårda kemiska miljöer och förlänga utrustningens livslängd.

● Fotolitografi Mask Material

De ogenomskinliga egenskaperna hos smält ogenomskinlig kvarts kan användas som ett maskmaterial i specifika fotolitografiprocesser för att hjälpa till att noggrant kontrollera exponeringsområdet och förhindra att överskottsljus påverkar känsliga områden på skivan.

Dessa egenskaper hos smält opak kvarts gör det till ett nyckelmaterial i processer med hög precision och hög temperatur. Med den kontinuerliga utvecklingen av halvledarenheter och processer kommer smält ogenomskinlig kvarts att fortsätta att spela en viktig roll i nästa generations tillverkningsteknologi för att möta strängare processkrav.

Som en professionell smält ogenomskinlig kvartsleverantör och tillverkare i Kina är Vetek Semiconductor villig och kan ge kunderna högkvalitativa sammansmält ogenomskinliga kvarts och ser fram emot din förfrågan. Vi hoppas verkligen att bli din långsiktiga partner i Kina.

Vetek Semiconductor smält ogenomskinlig kvarts fysisk egendom

Figur a. Transmittans av smält opak kvarts                                                           Figur b. Reflekteringsförmåga hos smält opak kvarts

Vetek Semiconductor smälta ogenomskinliga kvartsbutiker