CVD SIC -beläggningsgrafit Susceptor

CVD SIC-beläggningsgrafit Susceptor är speciellt utformad för högprecisionstillverkning inom halvledarindustrin. Grafitunderlaget är belagt med ett SIC-skikt med hög renhet med CVD-processen, som har utmärkt hög temperaturmotstånd, korrosionsbeständighet och oxidationsmotstånd och kan fungera stabilt under lång tid i hög temperatur och vakuummiljöer. Denna piedestal används allmänt i MOCVD, PECVD, PVD och annan utrustning för att stödja bearbetning och hantering av skivor och andra högprecisionsmaterial.

Kärnfördelar:

● Hög temperaturstabilitet: Grafit med hög renhet i sig har utmärkt termisk stabilitet. Efter att ha varit belagd med SIC -beläggning kan den tåla extrema miljöer med högre temperatur och är lämplig för processer med hög temperatur vid halvledarbearbetning.

● Hörnjonmotstånd: CVD SiC -beläggning är resistent mot syra- och alkalikorrosion och kan ha en lång livslängd i CVD -processen.

● Höghardness och oxidationsmotstånd: CVD SiC -beläggning har utmärkt hårdhet, repmotstånd och oxidationsmotstånd vid höga temperaturer för att bibehålla materialets stabilitet.

● Bra värmeledningsförmåga: Kombinationen av grafitunderlag och CVD SiC -beläggningssusceptor gör att basen har utmärkt värmeledningsförmåga, vilket effektivt kan göra värme och förbättra produktionseffektiviteten.

Produktspecifikationer:

● Material: grafitunderlag + CVD SIC -beläggning

● Beläggningstjocklek: kan anpassas efter kundens behov

● Tillämplig miljö: hög temperatur, vakuum, frätande gasmiljö

Anpassad tjänst:

Vi tillhandahåller mycket anpassade tjänster för att tillgodose behoven hos kundernas olika utrustning och processer. Enligt kundens specifika applikation kan grafitbaser med olika beläggningstjocklekar, ytbehandlingar och precisionsnivåer tillhandahållas.

Veteksemi har alltid arbetat i CVD-kiselkarbidbeläggningsindustrin och har den branschledande CVD SIC-beläggningsgrafitbasproduktionen och tillverkningsnivån. Om du behöver mer produktinformation eller anpassade tjänster, vänligen kontakta Vetek Semiconductor, vi kommer helhjärtat att ge dig professionellt stöd.

SEM -data från CVD SIC -filmkristallstruktur:

Det halvledareCVD SIC -beläggningsgrafit Susceptor Produktbutiker: