Aixtron MOCVD-receptor

Susceptors som produceras avDet halvledareär tillverkade av grafitunderlag och kiselkarbid (SIC) beläggningsmaterial. Med tanke på den högre slitmotståndet, korrosionsmotståndet och extremt hög hårdhet hos SIC -material är det särskilt lämpligt för användning i hårda processmiljöer. Därför kan de susceptorer som produceras av Vetek Semiconductor användas direkt i MOCVD-processer med högt temperatur utan ytterligare ytbehandling.

Susceptorer är viktiga komponenter i halvledartillverkning, särskilt i MOCVD -utrustning för tunna filmavlagringsprocesser. Huvudrollen förAIXTRON: Så stödeti MOCVD-processen är att bära halvledarskivor, säkerställa enhetlig och högkvalitativ avsättning av tunna filmer genom att tillhandahålla enhetlig värmefördelning och reaktionsmiljö, och därigenom uppnå högkvalitativ tunnfilmsproduktion.

Aixtron MOCVD-receptoranvänds vanligtvis för att stödja och fixera basen av halvledarskivor för att säkerställa stabiliteten hos skivan under avsättningsprocessen. Samtidigt är ytbeläggningen av Aixtron MOCVD Susceptor gjord av kiselkarbid (SiC), ett mycket värmeledande material. SiC-beläggningen säkerställer likformig temperatur på ytan av skivan, och likformig uppvärmning är avgörande för att erhålla högkvalitativa filmer.

DessutomAixtron MOCVD-receptorVi producerar spel en större roll för att kontrollera flödet och fördelningen av reaktiva gaser genom den optimerade utformningen av material. Undvik virvelströmmar och temperaturgradienter för att uppnå enhetlig filmavsättning.

Ännu viktigare, i MOCVD-processen har kiselkarbidbeläggningsmaterialet (SiC) korrosionsbeständighet, såDet halvledaresAixtron MOCVD-receptortål även höga temperaturer och frätande gaser.

Grundläggande fysikaliska egenskaper hosSIC BEläggning:

Det halvledare Wafer båtbutiker:

Översikt över halvledarchipets epitaxiindustrikedja: