Kiselkarbid keramisk skivbåt

Fördelarna med att använda Veteksemi Silicon Carbide Keramisk Wafer Boat

●  Mycket hög temperaturbeständighet till 3000 F (1650℃)

●  Superkorrosionsbeständighet mot  syror, lösningsmedel, salter och organiska ämnen, slitstark  

●  Lätt att rengöra

●  Stark slagtålighet

● Slip gratis

Det halvledaretillverkningsindustrin bearbetar vanligtvis dessa wafers i antingen horisontella wafer-bärare eller vertikala bärare.

●  Den horisontella bäraren, vanligtvis kallad en "båt", har tre eller fyra horisontellt disponerade staplar arrangerade i en halvcirkeldesign, där varje bar har inåt vänd mot spår som ställts in i regelbundna intervall. Varje uppsättning spår definierar ett vertikalt utrymme för att bära en vertikalt disponerad skiva.

●  Den vertikala bäraren, typiskt kallad "vertikal rack", har tre eller fyra vertikalt anordnade stavar (eller stolpar) anordnade i en halvcirkeldesign, där varje stolpe har slitsar inställda däri med jämna mellanrum för att definiera ett utrymme för att stödja en horisontellt anordnad skiva.

För att säkerställa den geometriska precision som krävs inom detta område är de tre eller fyra stängerna fästa på en toppplatta och en bottenplatta. Delarna av stolpen mellan varje slits, benämnda "tänder", är identiskt åtskilda för att stödja wafers med jämna mellanrum från och parallellt med bottenplattan. Hela ställningen placeras sedan i en vertikal ugn för bearbetning av skivorna.

Eftersom en wafer som bearbetas på ett vertikalt ställ upplever mindre temperaturgradient över dess yta (jämfört med en wafer som bearbetas i en horisontell båt), vänder sig halvledartillverkare i allt högre grad till vertikala ugnar. Det finns emellertid en nackdel med vertikal ugn. Skivorna placerade på ett konventionellt vertikalt ställ stöds endast vid sin yttre kant. Som sådan upplever de områden av skivan som vilar på dessa tänder högre stress än resten av skivan.

När temperaturen i ugnen överstiger cirka 1000 ° C blir dessa spänningar ofta betydande och delar av den enskilda kristallskivrörelsen i förhållande till varandra längs kristallografiska plattor som svar på den spänningen. Detta fenomen, kallat "slip", förstör effektivt värdet på halvledarenheterna belägna i området för skivan där slip har inträffat.

Som en ledande kiselkarbid keramisk skivbåtleverantör och tillverkare i Kina har Vetek Semiconductor alltid åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknik och skivbåtproduktlösningar för halvledarbearbetningsindustrin. Vi ser uppriktigt fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Det halvledareSilicon Carbide Ceramic Wafer Boat Production Shops: