Produkter
Sic belagd fat susceptor
  • Sic belagd fat susceptorSic belagd fat susceptor

Sic belagd fat susceptor

Epitaxi är en teknik som används vid tillverkning av halvledarenheter för att odla nya kristaller på ett befintligt chip för att skapa ett nytt halvledarskikt.VeTek Semiconductor erbjuder en omfattande uppsättning komponentlösningar för LPE-kiselepitaxreaktionskammare, som ger lång livslängd, stabil kvalitet och förbättrad epitaxi. lagerutbyte. Vår produkt som SiC Coated Barrel Susceptor fick positionsfeedback från kunder. Vi tillhandahåller även teknisk support för Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy och mer. Fråga gärna för prisinformation.

Vetek Semiconductor är en ledande Kina SIC -beläggning och TAC -beläggningstillverkare, leverantör och exportör. Att följa strävan efter perfekt kvalitet på produkterna, så att vår SIC -belagda fat -susceptor har nöjts av många kunder. Extrem design, kvalitetsråvaror, hög prestanda och konkurrenskraftigt pris är vad varje kund vill ha, och det är också vad vi kan erbjuda dig. Naturligtvis är det också viktigt med vår perfekta eftermarknadsservice. Om du är intresserad av våra SiC Coated Barrel Susceptor-tjänster kan du rådfråga oss nu, vi kommer att svara dig i tid!


Vetek Semiconductor Sic Coated Barrel Susceptor används främst för LPE SI EPI -reaktorer


SiC Coated Barrel Susceptor products

LPE (Liquid Phase Epitaxy) kiselepitaxi är en vanligen använd halvledarepitaxial tillväxtteknik för att avsätta tunna lager av enkristallkisel på kiselsubstrat. Det är en vätskefas-tillväxtmetod baserad på kemiska reaktioner i en lösning för att uppnå kristalltillväxt.


Den grundläggande principen för LPE-kiselepitaxi innebär att substratet sänks ned i en lösning som innehåller det önskade materialet, kontrollerar temperatur och lösningssammansättning, vilket låter materialet i lösningen växa som ett enkristalligt kiselskikt på substratytan. Genom att justera tillväxtförhållandena och lösningens sammansättning under epitaxiell tillväxt kan önskad kristallkvalitet, tjocklek och dopningskoncentration uppnås.


SiC Coated Barrel Susceptor Application Scenarios

LPE Silicon Epitaxy erbjuder flera egenskaper och fördelar. För det första kan den utföras vid relativt låga temperaturer, vilket minskar termisk stress och föroreningsdiffusion i materialet. För det andra ger LPE Silicon Epitaxy hög enhetlighet och utmärkt kristallkvalitet, lämplig för tillverkning av högpresterande halvledarenheter. Dessutom möjliggör LPE -teknik tillväxt av komplexa strukturer, såsom flerskikt och heterostrukturer.


I LPE -kiselepitaxi är SIC -belagd fatsusceptor en avgörande epitaxial komponent. Det används vanligtvis för att hålla och stödja de kiselsubstrat som krävs för epitaxiell tillväxt samtidigt som temperatur- och atmosfärskontrollen ger. SIC-beläggningen förbättrar hög temperaturens hållbarhet och kemisk stabilitet hos SUSCECESOR, och uppfyller kraven i den epitaxiella tillväxtprocessen. Genom att använda den SIC-belagda fatens susceptor kan effektiviteten och konsistensen av epitaxial tillväxt förbättras, vilket säkerställer tillväxten av högkvalitativa epitaxiella skikt.


Grundläggande fysiska egenskaper hos CVD SIC -beläggning

Grundläggande fysiska egenskaper hos CVD SIC -beläggning
Egendom Typiskt värde
Kristallstruktur FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad
Sic beläggningstäthet 3,21 g/cm³
CVD SiC-beläggning Hårdhet 2500 Vickers hårdhet (500 g belastning)
kornstorlek 2 ~ 10mm
Kemisk renhet 99,99995 %
Värmekapacitet 640 J · kg-1· K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Böjhållfasthet 415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul 430 GPA 4PT BEND, 1300 ℃
Värmeledningsförmåga 300W · m-1· K-1
Termisk expansion (CTE) 4,5×10-6K-1


CVD SIC FILM KRISTALSTRUKTUR

CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE


Det halvledareSiC Coated Barrel Susceptor produktionsbutiker

SiC Graphite substrateSiC Coated Barrel Susceptor testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment


Hot Tags: Sic belagd fat susceptor
Skicka förfrågan
Kontaktinformation
För frågor om kiselkarbidbeläggning, tantalkarbidbeläggning, specialgrafit eller prislista, vänligen lämna din e-post till oss så hör vi av oss inom 24 timmar.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept